进入TSI粒子计数器的入口样本对计数器的分辨率起着至关重要的作用。入口有两种类形：一种是扁平的(宽10mm，高0.1mm)，另一种是内径为2-3mm的圆形。

　　入口喷嘴为扁平的时，通常激光束是一条与喷嘴同轴的窄线。扁平喷嘴出来的气流速度相当均匀，TSI粒子计数器通过激光束中zui强而且zui均匀的部分，因此精度zui高。但是，扁平喷嘴的横截面小，意味着要求真空度高于圆形喷嘴，这样会增加能耗(这点非常重要，特别是在采用电池供电时)。扁平喷嘴的制造比较复杂，价格也较高，而且它和激光之间的配合也是一个问题。

　　入口喷嘴为圆形时，激光束则通常与入射口的轴线大致成直角。粒子会通过一个非常狭窄，强度很高的激光面。圆形喷嘴比较简单，因为TSI粒子计数器的横截面较大，对于速度相同的气流，对真空度的要求也较低，所以当空气吸入时，能耗也较小。相对于扁平喷嘴，气流速度较低意味着每个粒子散射的光也更多。形喷嘴的缺点在于它会降低气流的均匀性，而且激光束的功率不是均匀的;光束会变粗，因而精度较低。

　　TSI粒子计数器可分析0105μm粒径颗粒杂质，目前已有可检测超高纯气中01005μm的粒子计数器。计数器是一种利用光的散射原理进行尘粒计数的仪器。一定流量的含尘气体通过一束强光，使粒子发射出散射光，经过聚光透镜投射到光电倍增管上，将光脉冲变为电脉冲，由脉冲数求得颗粒数。根据TSI粒子计数器粒子散射光的强度与粒径的函数关系得出粒子直径，是高纯或超高纯供气系统中必*仪器。