洁净室检测方法
时间:2022-07-26 阅读:931
一、测试目的
确认在无尘室释放颗粒后,测量在多少时间内能恢复到释放之前的洁净水平。
二、测试仪器
颗粒测试仪(品牌:美国 MET ONE空气粒子计数器),型号:HHPC2+、HHPC3+、HHPC6+;3413、3423、3411、3445、颗粒释放器。
三、测试位置
任意抽取测量点,也可与相关人员共同确认测试点。
四、测试步骤
1 .在测试开始之前要保证净房空调系统正常运转24以上,让洁净环境达到一个稳定的水平。
2. 在抽取的测量点放好颗粒计数器,先做颗粒洁净度测试,记录该房间每立方英尺体积的空气中含有的0.3um颗粒数量,连续测试数分钟,待取一个稳定的数据,此时,再将该房间的整个空调系统全部断电。
3. 在该房间内释放颗粒,使于外界非洁净区域的颗粒自使整个洁净室0.3um的颗粒浓度达到之前浓度的10或100倍。此时再启动空调系统,使其正常运行,测试该洁净室内颗粒浓度恢复到之前水平所需要的时间 。