质量流量控制器，其原理如下：

“在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将其控制在同一温度。当流体流动时，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时，利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理，来测定流量。”（附：qm=KCpA△T Cp定压比热容 A测量管绕组（即加热系统）与周围环境热交换系统之间的热传导系数； K -------仪表常数）

想像一下……放置两台电热器，用一条线将两台电热器连接起来，自己坐在线的中点处交叉的直角线上，很暖和。两台电热器发散同样的热量，你坐在离两台电热器同等距离的正中间位置，接受双方的热量，是温度高的地方。在这个炎热的季节，说这样的话，真是热得无法忍受啊…… 这时，在侧面加一个电风扇，离电风扇近的一方发散出来的热，被吹到远一点的电热器，你坐的地方也会觉得稍微凉一些。风扇吹得越快就越凉快。 这和热式感应管中的道理一样，风扇的强度（风量）=气体的流量。反过来，要想检测流量的话，可以说“测量一下气体流过的时候两台电热器之间移动的热量即可”

气体质量流量控制器用途

1. 锅炉、裂解炉用燃料气质量流量测量控制；

2. 石油化工、采油、火炬气质量流量测量；

3. 燃烧炉用空气质量流量测量控制;燃汽轮机氢气质量流量和控制；

4. 食品加工及饮料气体质量流量和控制；

5. 水厂cl2质量流量控制；

6. 生产半导体时高纯度气体质量流量测量；

7. 催化剂、化学添加剂质量流量测量；

8. 泵的保护控制、泵密封、润滑油池泄漏检测；

9. 空调系统控制；

10. 仪表用空气、工艺空气、氮气等质量流量测量。

11. 气体分析仪，大气采样器

12. 泄露监测

13. 气体分配系统

14. 实验室气体测量

15. 医学应用

16. 燃料电池

17. 应用气体：Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10, 等绝大多数气体。

实际使用中发现，当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符，其实原因很简单，因为在MFC行业中，有一种参数叫CF，即气体转换系数（下面简称CF）。而MFC行业中又把N2（氮气）定义为标准气体M。N2的C值为1.00，其他的气体以氮气为中心，分布在0.1到1.4左右。

CF大于1.00的代表气体是单原子气体He(氦)、Ar(氩)、Kr(氪)、Xe(氙)。和N2相近的气体有02（氧气）、H2（氢气）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是几种气体的混合在一起的话，简单的分析其比率，用各自的CF值计算即可。