小面积的洁净室建议采用移动式的真空清扫集气，如果没有可以用不掉纤维的丝光毛巾、尼龙布等进行擦拭，一般每天1次或者数次。别的洁净室，擦拭用的水应该是过滤后的水；有特殊要求的场所，可以采用符合要求的有机溶剂进行擦拭。洁净室内的产品不能进行擦拭时，使用真空清扫设备进行清扫。

洁净室的清扫工具一般采用集中固定式或便携移动式真空清扫设备，以确保在定期清扫时能去除微粒污染；也能有效地、适时地清除某些不适合在洁净室外进行工作所带来的污染。当设置集中固定式真空清扫系统时，其排风机应安装在洁净室外；洁净室内的连接插座在不使用时应严密封盖，以免危及洁净室内的压差或气流形式。当设置便携式真空清扫设备时，应配置有排风过滤器，其过滤效率应至少与所在洁净环境的等级相同；还应注意在使用时对洁净室内气流的影响。

集中或真空吸尘系统的设计要求如下：

1、吸尘装置布置在靠近负荷的中心，并要考虑隔声隔振措施。

2、洁净室内吸尘口位置和数量，要根据软管作用半径确定，让洁净室每一处都得到清扫。

3、集尘器要设置在真空泵的吸入端，集尘器可采用布袋除尘器等等。

4、吸尘系统的管道材料要选用耐磨、气密性好、有一定强度的材质，如无缝钢管或硬塑料管。管道弯头的曲率半径为管道直径的4~6倍，三通夹角一般为30°，大不超过45°，水平管道要有一定的坡度，坡向立管或集尘器。

不同级别、不同用途的洁净室，清扫次数和清扫方法都会有所不同，为防止在洁净室内微粒子的沉积，在洁净室工作前或工作后必须进行清扫。洁净室的净化空调系统每年应该清扫1~2次，委托专门清洁人员进行，所使用的清洁剂清扫程序应该事先商定好，因为每种实验室使用的清洁剂会有所不同，要避免错用清洁剂对实验室造成伤害。

保证洁净室的干净不仅能提高工作效率，而且还能减少实验的失误率，误差等等。

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