SENSIRION质量流量控制器SFC5400是一款针对多种应用的多功能控制器。
SFC5400质量流量控制器以优异的精度、长期稳定性和可重复性测量和控制质量流量，覆盖宽动态测量范围。SFC5400可高度配置，其外壳由金属制成。此外，流量控制器可使用各种电气接口和各种流体连接件，测量50 sccm到200 slm的大流量。传感器信号可在芯片上直接转换成*校准和经温度补偿的数字信号。多气体校准可存储在单个器件上。此外，流量控制器还可检查激活的气体校准与实际气体是否匹配。SFC5400的通用性使之成为了工业和医疗应用的理想解决方案。
SFC5400质量流量控制器与所有传感器产品一样，依赖创新的CMOSens® 技术，在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感器元件及模拟和数字处理电路，可保证优异的性能。配合材料，SFC5400可实现持久稳定、快速和高度的流量控制。
SFC5400质量流量控制器也提供无阀版本。SFM5400质量流量计与质量流量控制器具有相同性能特性，可用在类似应用当中，SFC5400和SFM5400可组合在一起。在SFM5400网站，您可以找到关于质量流量控制器的更多信息和详细规格。

SENSIRION质量流量控制器SFC5400性能参数
超快速气体流量控制（稳定时间＜100 ms）
超低流量测量时的高精度（＜ 1sccm）
出色的长期稳定性和可靠性
无老化效应
宽动态范围（量程比1000:1）
多气体配置
高配置
源于CMOSens®技术的*性价比
数字和模拟接口
灵活机械连接选项：向下安装、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等。
如有需要，可提供定制版本

SENSIRION质量流量控制器SFC5400应用
分析仪器  （如气相色谱、质谱、热分析）
医疗器械  （如呼吸机、麻醉机）
工业过程自动化  （如涂覆、热处理）
半导体行业  （如等离子蚀刻工艺、薄膜沉积）

评估套件 EK-F3x
快捷可靠地评估数字质量流量计 SFM3000 和 SFM3200
可方便地与电脑进行连接
包含：U 盘，带转接线和传感器线 (30 cm)
质量流量计必须单独订购。
SFM3200-AW, SFM3300和SFM3400，SFM4100，SFM5400，SFC5400

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