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Brooks压力控制器PC100系列资料

金属密封压力控制器稳定的压力控制以及更高的过程气体纯度，最大限度优化处理效果

布鲁克斯仪器的金属密封压力控制器的设计特点是经久耐用，同时还具备持久和得到认可的准确性，液体测量和控制领域的企业用户均信赖布鲁克斯。我们的电子压力控制器将核心控制技术用于自身业内的热质量流量控制器。

电子压力控制器不存在传统机械弹簧式隔膜压力调节器所导致的衰减和滞后问题。同时，选择金属密封压力控制器可提高气体纯度，原因是此类控制器不使用会发生氧渗透的弹性体，并且金属密封件能够减少维护次数可无限期使用。

另外还提供带有内部压力传感器的布鲁克斯压力控制器以在 torr 级至 500 psig 范围内进行压力控制。结果：能够始终确保关键半导体工艺准确执行并得到严格控制的压力控制器。

应用

硅材料半导体器件制造工艺 – 蚀刻、剥膜、CVD、ALD、PVD、Epi、扩散、植入和 RTP

化合物半导体器件加工工艺 – MOCVD

设计精密的表面涂层

分析系统

真空处理应用

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