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Brooks Instrument质量流量计5700系列参数

布鲁克斯仪器的橡胶密封质量流量计和控制器将工艺所需的准确性、可靠性和可重复性相结合，是一种能够为您提供高精度性能和长期稳定性并且经济有效的测量仪器。结果：使运营投资价值和回报大化。

应用

化学品与石化分析和试验过程

实验室和分析系统

生命科学实验室

薄膜气相沉积

热处理、切割等其他热过程

真空应用

参数

流体类型  气体

流量范围  满量程容量3 sccm - 2500 lpm

精度  ± 0.6% of SP

最大压力  4500 psig

温度  65℃

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