测高仪是放置于平台上进行单轴测量的仪器，理想的摆放平台是花岗石平台。

根据使用的测量系统可将测高仪分为：

光栅测量系统测高仪

感栅测量系统测高仪

容栅测量系统测高仪

不同的型号配置对应不同的使用环境，在车间现场或计量实验室不同的使用环境对工件进行测量。测高仪可完成常用参数的测量工作，如高度、深度、孔径、槽宽、轴心距、孔心距等参数，二维测高仪还可进行平面度、平面角度、锥度的测量。通过使用相应的附件还可以进行垂直度的测量。可替代如卡尺、千分尺、角度尺等传统测量工具，使用方式多样的多功能测量设备。

TRIMOS测高仪的主要部件是Heidenhain金属光栅尺，来保证测量精度。

光栅尺是由标尺光栅和光栅读数头两部分组成。

光栅测量位移的原理是以光栅栅距为一把标准尺子对位称量进行测量。高分辨率的光栅尺一般造价较贵，且制造困难。为了提高系统分辨率，需要对莫尔条纹进行细分，光栅尺传感器系统多采用电子细分方法。当两块光栅以微小倾角重叠时，在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹，随着光栅的移动，莫尔条纹也随之上下移动。这样就把对光栅栅距的测量转换为对莫尔条纹个数的测量。