●用于空气

适用液体：空气，氮气，氩气，二氧化碳
空气质量等级为JIS B 8392.1-1。1.2至1.6.2，ISO 8573.1-1。1.2至1.6.2。

●用于去离子水，化学品

适用液体：去离子水
超纯水
不会腐蚀管道材料的液体。

●用于水

适用液体：
水（50％）和乙二醇（50％）的水混合物
 

●卡曼漩涡

当细长物体（涡流发生器）放置在流动中时，在下游侧产生往复涡流。这些涡流在某些条件下是稳定的，并且它们的频率与流速成比例，得到下面的公式。

f = k×v 

f：涡旋频率v：流速k：比例常数（由涡流发生器的尺寸和形状决定）。因此，可以通过检测该频率来测量流速。

●热式（MEMS）

该MEMS传感器芯片由上游温度测量传感器（Ru）和下游温度测量传感器（Rd）组成，它们从安装在膜上的铂薄膜涂层加热器（Rh）的中心对称放置，以及环境温度传感器（ Ra）用于测量气体温度。
原理如下图所示，Ru和Rd之间的电阻差异与流速成正比，因此电阻的测量和分析可以显示气体的流动方向和速度。
Ra用于补偿气体和/或环境温度。



该流量开关使用L / min作为流量指示器单元。质量流量在0℃和101.3kPa以及20℃和101.3kPa的条件下转换和显示。

对于空气
适用液体：空气，氮气，氩气，二氧化碳
空气质量等级为JIS B 8392.1-1。1.2至1.6.2，ISO 8573.1-1。1.2至1.6.2。

●热敏型（热敏电阻）

加热的热敏电阻安装在通道中，当热敏电阻被引入通道时，流体从热敏电阻吸收热量。热敏电阻的电阻值随着热量的增加而增加。由于电阻值增加比与流速具有均匀的关系，因此可以通过测量电阻值来检测流速。为了进一步补偿流体和环境温度，温度传感器也内置在开关中，以便在工作温度范围内进行稳定的测量。



该流量开关使用L / min作为流量指示器单元。质量流量在0℃和101.3kPa以及20℃和101.3kPa的条件下转换和显示。