美国MOOG伺服阀原理与功能特点 典型的伺服阀由永磁力矩马达、喷嘴、档板、阀芯、阀套和控制腔组成。当输入线圈通入电流

时，档板向右移动，使右边喷嘴的节流作用加强，流量减少，右侧背压上升；同时使左边喷嘴节流作用减小，流量增加，左侧背压下降。阀芯两端的作用力失去平衡, 阀芯遂向左移动。高压油从S流向C2，送到负载。负载回油通过 C1流过回油口，进入油箱。阀芯的位移量与力矩马达的输入电流成正比，作用在阀芯上的液压力与弹簧力相平衡，因此在平衡状态下力矩马达的差动电流与阀芯的位移成正比。如果输入的电流反向，则流量也反向。

伺服阀主要用在电气液压伺服系统中作为执行元件（见液压伺服系统）。在伺服系统中，液压执行机构同电气及气动执行机构相比，具有快速性好、单位重量输出功率大、传动平稳、抗干扰能力强等特点。另一方面，在伺服系统中传递信号和校正特性时多用电气元件。因此，现代高性能的伺服系统也都采用电液方式，伺服阀就是这种系统的必需元件。

伺服阀结构比较复杂，造价高，对油的质量和清洁度要求高。新型的伺服阀正试图克服这些缺点，例如利用电致伸缩元件的伺服阀，使结构大为简化。另一个方向是研制特殊的工作油（如电气粘性油）。这种工作油能在电磁的作用下改变粘性系数。利用这一性质就可通过电信号直接控制油流。
1.压电元件
压电元件的特点是“压电效应”：在一定的电场作用下会产生外形尺寸的变化，在一定范围内，形变与电场强度成正比。压电元件的主要材料为压电陶瓷（PZT）、电致伸缩材料（PMN）等。比较典型的压电陶瓷材料有日本TOKIN公司的叠堆型压电伸缩陶瓷等。PZT直动式伺服阀的原理是：在阀芯两端通过钢球分别与两块多层压电元件相连。通过压电效应使压电材料产生伸缩驱动阀芯移动。实现电-机械转换。PMN喷嘴挡板式伺服阀则在喷嘴处设置一与压电叠堆固定连接的挡板，由压电叠堆的伸、缩实现挡板与喷嘴间的间隙增减，使阀芯两端产生压差推动阀芯移动。压电式电-机械转换器的研制比较成熟并已得到较广泛的应用。它具有频率响应快的特点，伺服阀频宽甚至能达到上千赫兹，但亦有滞环大、易漂移等缺点，制约了压电元件在电液伺服阀上的进一步应用。
2.超磁致伸缩材料
超磁致伸缩材料（GMM）与传统的磁致伸缩材料相比，在磁场的作用下能产生大得多的长度或体积变化。利用GMM转换器研制的直动型伺服阀是把 GMM转换器与阀芯相连，通过控制驱动线圈的电流，驱动GMM的伸缩，带动阀芯产生位移从而控制伺服阀输出流量。该阀与传统伺服阀相比不仅有频率响应高的特点，而且具有精度高、结构紧凑的优点。在GMM的研制及应用方面，美国、瑞典和日本等国处于水平。国内浙江大学利用GMM技术对气动喷嘴挡板阀和内燃机燃料喷射系统的高速强力电磁阀，进行了结构设计和特性研究。GMM材料与压电材料和传统磁致伸缩材料相比，具有应变大、能量密度高、响应速度快、输出力大等特点。世界各国对GMM电-机械转换器及相关的技术研究相当重视，GMM技术水平快速发展，已由实验室研制阶段逐步进入市场开发阶段。今后还需解决GMM的热变形、磁晶各向异性、材料腐蚀性及制造工艺、参数匹配等方面的问题以利于在高科技领域得到广泛运用。
3.形状记忆合金
形状记忆合金（SMA）的特点是具有形状记忆效应。将其在高温下定型后，冷却到低温状态，对其施加外力。一般金属在超过其弹性变形后会发生变形，而SMA却在将其加热到某一温度之上后，会恢复其原来高温下的形状。利用其特性研制的伺服阀是在阀芯两端加一组由形状记忆合金绕制的SMA执行器，通过加热和冷却的方法来驱动SMA执行器，使阀芯两端的形状记忆合金伸长或收缩，驱动阀芯作用移动，同时加入位置反馈来提高伺服阀的控制性能。从该阀的情况来看，SMA虽变形量大，但其响应速度较慢，且变形不连续，也限制了其应用范围。
与传统伺服阀相比，采用新型材料的电-机械转换器研制的伺服阀，普遍具有高频响、高精度、结构紧凑的优点。虽然还各自呈在某些关键技术需要解决，但新型功能材料的应用和发展，给电液伺服阀的技术发展发展提供了新的途径 [3]。
电子化、数字化技术的运用
电子化、数字化技术在电液伺服阀技术上的运用主要有两种方式：其一，在电液伺服阀模拟控制元器件上加入D/A转换装置来实现其数字控制。随着微电子技术的发展，可把控制元器件安装在阀体内部，通过计算机程序来控制阀的性能，实现数字化补偿等功能。但存在模拟电路容易产生零漂、温漂，需加D/A 转换接口等问题。其二，为直动式数字控制阀。通过用步进电机驱动阀芯，将输入信号转化成电机的步进信号来控制伺服阀的流量输出。该阀具有结构紧凑、速度及位置开环可控及可直接数字控制等优点，被广泛使用。但在实时性控制要求较高的场合，如按常规的步进方法，无法兼顾量化精度及响应速度的要求。浙江工业大学采用了连续跟踪控制的办法，消除了两者之间的矛盾，获得了良好的动态特性。此外还有通过直流力矩电机直接驱动阀芯来实现数字控制等多种控制方式或伺服阀结构改变等方法来形成众多的数字化伺服阀产品。
随着各项技术水平的发展，通过采用新型的传感器和计算机技术研制出机械、电子、传感器及计算机自我管理（故障诊断、故障排除）为一体的智能化新型伺服阀。该类伺服阀可按照系统的需要来确定控制目标：速度、位置、加速度、力或压力。同一台伺服阀可以根据控制要求设置成流量控制伺服阀、压力控制伺服阀或流量/ 压力复合控制伺服阀。并且伺服阀的控制参数，如流量增益、流量增益特性、零点等都可以根据控制性能化原则进行设置。伺服阀自身的诊断信息、关键控制参数（包括工作环境参数和伺服阀内部参数）可以及时反馈给主控制器；可以远距离对伺服阀进行监控、诊断和遥控。在主机调试期间，可以通过总线端口下载或直接由上位机设置伺服阀的控制参数，使伺服阀与控制系统达到最佳匹配，优化控制性能。而伺服阀控制参数的下载和更新，甚至在主机运转时也能进行。而在伺服阀与控制系统相匹配的技术应用发展中，嵌入式技术对于伺服阀已经成为现实。按照嵌入式系统应定义为：“嵌入到对像体系中的专用计算机系统”。“嵌入性”、“专用性”与“计算机系统”是嵌入式系统的三个基本要素。它是在传统的伺服阀中嵌入专用的微处理芯片和相应的控制系统，针对客户的具体应用要求而构建成具有控制参数的伺服阀并由阀自身的控制系统完成相应的控制任务（如各控制轴同步控制），再嵌入到整个的大液压控制系统中去。从的技术发展和液压控制系统对伺服阀的要求看，伺服阀的自诊断和自检测功能应该有更大的发展美国MOOG伺服阀原理与功能特点
·通用的易理解的参数名称按照用户友好方式进行组织

·控制电路非常合理的设计和布局极大的提高了功能性和灵活性

·集成了电源 - 为使 DS2000 成为自含独立伺服驱动器，我们已在内嵌式电源中集成了以下控制和监测电路：