超临界微粒制备装置在材料、化工、轻工、冶金、电子、生物医学等领域得到广泛应用。过去已发展形成了一些常规技术用于制备超细粒子，但这些方法由于各自存在的缺点而制约着其应用。

　　

　　喷雾干燥、超细碾磨的主要缺点是形成的粒子尺寸分布宽，并且只有一小部分的粒子属于纳米范围。如今，超临界装置为超细粉体，特别是热敏性、具生物活性或具催化活性粉末的制备提供了一条新途径。

　　

　　纯物质在密闭容器中随温度与压力的变化会呈现出液体、气体、固体等状态。当温度和压力达到特定的临界点以上时，液体与气体的界面会消失，液、气合并为均匀的流体，这就被称为“超临界流体”。

　　

　　超临界流体的特性：

　　

　　超临界流体同时具备气、液两态的双重性质（二像性）。

　　

　　1、像液体：密度、溶解能力和传热系数接近于液体，比气体大数百倍。它是好的溶剂，可溶解许多固体，包括难溶的树脂、油污、氮化硅、晶圆和线路板蚀刻后的残渣等。

　　

　　2、像气体：黏度、表面张力和扩散系数接近于气体，扩散速率比液体快约两个数量级，传递速率远高于液体。

　　

　　超临界微粒制备装置可循环使用，从而节省资源与成本。其种类很多，常用的是二氧化碳和水。在众多的超临界流体中，二氧化碳具有低的临界温度和临界压力，它节能环保、原料易得、价格低廉、溶解力强、无毒且阻燃、易于回收利用、产物易纯化，适于大规模生产和应用，所以成为目前国内外应用广的超临界流体。