过滤器计数检漏仪采用计数法扫描检漏，通过计数检漏仪以及颗粒计数器配合检测过滤器上游浓度，根据过滤器的标示效率计算下游漏点值，通过实际扫描检测风口下游漏点值并跟计算的漏点值进行比较，实现对风口的检漏。GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第三部分附录B.6.3详述了计数法扫描检漏的规程，GB50591《洁净室施工及验收规范》推荐检漏应优选计数扫描法。