[应用]

TMC STACIS® III Quiet Island应用于高分辨率低温透射电镜

应用：3D蛋白质和细胞成像

显微镜：ThermoFisher（原FEI）Titan Krios低温透射电子显微镜

介绍：

2014年，俄勒冈健康与科学大学（OHSU）的多尺度显微镜核心扩展了其协作的生命科学大 楼，将TFS Titan Krios低温透射电子显微镜包括在内。

照片由OHSU提供

挑战：

透射电子显微镜（如Titan Krios）是世界上对振动最敏感的仪器之一，容易受到建筑地面振动的影响，从而影响高分辨率性能。

论述：

令人担忧的是，即将在附近建造和开放的桥梁可能会严重影响该工具的性能。施工活动和车辆通行会大大提高建筑地面的振动水平。Titan Krios对声音也很敏感，因此TEM柱由一个隔音罩包围。虽然隔音罩减少了声音对TEM的影响，但是大型机柜可以将声音与TEM的支撑平台耦合为地面振动，因此将隔音罩与柱分离非常重要。

解决方案 - TMC STACIS® III Quiet Island®：

STACIS III采用特别的串行设计和专有的高力压电技术，具有0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的惯性主动振动消除功能。它没有软悬架，与主动空气系统不同，STACIS本质上与Titan Krios的内部主动空气隔振系统兼容，因此，两个系统都可以在最佳状态下运行。TMC专门为Titan Krios设计了一个两部分嵌套的Quiet Island，其由一个支撑柱子的内部STACIS Quiet Island和一个分离和支撑隔音罩的外部刚性Quiet Island“环”组成。STACIS Quiet Island是一个现场解决方案，可在实验室设施的设计和规划中实现更大的灵活性和成本节约。

使用安装的工具测量水平（顶部）和垂直（底部）隔振性能

概要：

“[STACIS Quiet Island]如预期的那样工作。我们附近的桥梁通车了……还有火车、公共汽车和电车整天经过，我们没有任何振动问题。这真是太棒了。”- 美国OHSU多尺度显微镜核心经理Claudia López博士。

STACIS作为微震振动器

设备制造商可以使用STACIS®生成微米级地面振动，模拟现实世界中的地面活动，以制定工具振动标准。

半导体设备制造商、电子显微镜制造商和其他精密工具制造商都在努力为其仪器制定有意义的地面振动标准。这些标准可以从理论或经验上推导得出。理论计算非常复杂，通常不切实际或由于许多变量无法轻易建模而不能反映实际的工具灵敏度。根据经验得出的地面振动标准通常基于从各种设备在不同地面振动水平下收集的工具性能信息。这些地面振动水平和相应的工具性能用于在频谱上创建振幅的上限，该上限代表了获得可接受工具性能的地面振动水平。这两种方法都非常困难、耗时，并且不能为工具生成精确的振动规格。

STACIS®提供了一种D特且新颖的方法来实现工具振动标准的开发。STACIS通常作为地板隔振/消振系统使用，也可用于提供微米级振动器输入。该振动器信号可以是白噪声、离散频率或正弦扫描波形。STACIS可提供独立或组合的X、Y和Z轴振动输入。作为振动器，STACIS可以消除建筑地面振动，以提供一个安静的地基，同时在其上叠加所需的频率和振幅振动频谱，以测试工具性能。没有其他哪个振动器系统可以将输入控制到如此小的幅度。没有其他哪个振动器系统既可以隔离环境地面振动，又可以提供受控的振动频谱。STACIS数字控制器在极低振幅下产生的振动不会受到测试现场周围建筑地面振动的影响。

完整的工作工具可以安装在STACIS隔振/振动器系统上，并且可以在评估整体工具性能时调整STACIS振动幅度。可以在给定的频率或给定的频带激励该工具，以确定限制整体工具性能的振动输入的精确振幅/频率关系。最终可得到工具的整体振动标准水平，其对应于工具可提供最佳性能的精确振动水平。这种测试可以相对快速、轻松地完成 - 无需将工具运送到客户现场并等待大量现场数据，也不需要依赖可疑的建模信息。

应用图片

超厚光学工作台

结构生物学的低温透射电镜

扫描隧道显微镜

Cameca NanoSIMS

引力波探测

安装在高架地板案例