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TMC主动压电消振SEM-Base VI 用于SEM和FIB
面议台式主动隔振平台
面议高阻尼空气隔振系统MaxDamp
面议超高阻尼空气隔振器适用大型设备LCD光刻机
面议TMCS TACIS 4主动隔振系统,用于半导体隔振
面议TMC混合压电陶瓷电机主动隔振系统
¥399999TMC LaserTable-Base混合压电主动隔振系统
¥9999TMC Hybrid Honeycomb面包板
¥9999TMC CleanTop轻量级光学面包板
¥9999TMC TOOL-Base主动压电地面减振平台
¥9999TMC SEM-Base VI 主动压电隔振
¥9999TMC STACIS地面平台 主动压电隔振器
¥9999TMC光学隔振平台 LaserTable-Base
LaserTable-Base™是现有光学平台隔振技术的一大飞跃。通常,光学平台由低频气动隔振系统支撑。虽然在隔离高频方面非常有效,但这些被动系统实际上放大了关键的1至3 Hz范围内的振动。
TMC的STACIS通过结合压电致动器和惯性振动传感器的专有技术克服了这些限制,可消除而不会放大极低频振动。LaserTable-Base将这两项技术(空气和STACIS)整合到一个集成的消振系统中。由于两个串联隔振系统的综合效应,这实现了低频率消振和*的高频隔振水平。
TMC光学隔振平台 LaserTable-Base的上部气动部分采用模块化设计,可互换。它可以结合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空气隔振器或刚性、非隔振支架,具体取决于应用要求。
该平台采用STACIS®技术
主动惯性消振系统
消振从低于1 Hz开始
加长行程的压电致动器,高达60微米。
6个主动自由度
由两个串联隔振系统组成,可实现良好隔振效果
采用MaxDamp®空气隔振器
简单、坚固且经济高效
可选的搁板,用于在工作台下方安装设备
包括TMC的DC-2020数字控制器
LaserTable-Base™是现有光学平台隔振技术的一大飞跃。通常,光学平台由低频气动隔振系统支撑。虽然在隔离高频方面非常有效,但这些被动系统实际上放大了关键的1至3 Hz范围内的振动。
TMC的STACIS通过结合压电致动器和惯性振动传感器的专有技术克服了这些限制,可消除而不会放大极低频振动。LaserTable-Base将这两项技术(空气和STACIS)整合到一个集成的消振系统中。由于两个串联隔振系统的综合效应,这实现了低频率消振和*的高频隔振水平。