首页 >> 供求商机
STACISIII是zui*的主动振动隔离系统。采用*的惯性振动传感器，复杂的控制算法，和zui*的压电致动器。STACIS通过连续测量地板活动、扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时隔离振动。
zui初被设计用于*半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备的隔振，STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不局限于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究。
STACIS III包括一个新型改进的数字控制器----DC - 2020。它的前后面板上有新型双核处理器，以太网和USB串口，这个新型*控制系统为用户提供了一个现代的、易于使用的图形用户界面(GUI)。
拥有在世界各地的数百个成功安装案例，STACIS对于大部分振动敏感仪器来说都是zui理想的振动消除系统。
性能规格
| 自由度范围 | 6 |
| 带宽范围 | 0.6 Hz - 150 Hz |
| 被动的固有频率 | 18 Hz vertical and horizontal |
| 有效共振频率 | 0.5 Hz |
| 隔离在 1 Hz | 40% - 70% |
| 隔离在 ≥2 Hz | ≥90% |
| 10 lb (4.5 kg) 步进后的沉淀时间 (10:1 reduction) | 0.3 sec |
| 内部噪声 | <0.1 nm RMS |
| 每个隔离器的工作负载范围 | Low capacity: 400-1100 lbs (181-499 kg) Med capacity: 900-2100 lbs (408-953 kg) Hi capacity: 1900-4500 lbs (862-2041 kg) |
| 每个隔离器的静态提升能力 | 9000 lbs (4090 kg) |
| 硬度(1000 lb / 454 kg mass, Med capacity isolator) | 40,000 lb/in. (73 x 105 N/m) |
| 磁场从隔离器大4英寸（102毫米）处发射 | <0.02 μG broadband RMS |
隔离器设计，尺寸以及环境和实用要求
| 环境和安全 | CE和RoHS标准 |
| 主动隔离元素 | 高压压电致动器，接收来自高电压放大器的信号，输出功率高达800伏特 |
被动隔离元素 | 单刚性各向同性弹性体(不需要压缩空气供应) |
| 振动传感器的元素 | 向下面对检波器类型的惯性传感器，测量隔离器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成比例的电压 |
| 积极的反馈控制回路 | 对支撑隔震面的弹簧下的地板振动进行测量、处理和衰减 |
隔离器尺寸 (DxH) | 11.75 x 12.5 x 10.8 in. 300 x 320 x 275 mm |
| 隔离器重量 | 75 lb (34 kg) |
| 工作温度 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
| 储存温度 | -40° - 130° F -40° - 55° C |
| 湿度(操作) | 30 - 60% |
| 系统功率需求 | 100, 120, 230, 240 VAC 50/60 Hz AC; <600 W CE compliant |
| 地板位移 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hz |
隔离器数/系统 | 少3个 |
| 附件 | 夹层不锈钢平台，框架，立管，矫直装置，地震抑制装置，吊具 |
DC-2020 控制器规格
| 尺寸 (DxH) | 19 x 8.5 x 1.75 in. 483 x 216 x 45 mm |
| 重量 | 6.3 lb (2.9 kg) |
| 处理器 | 150/75 MHz dual core |
| 采样率 | 10 kHz |
| 模拟输出 | 16 channels |
| 模拟输入 | 16 channels |
| 状态灯 | single LED |
| 前面板接口 | 1x serial USB 2.0 1x serial Micro-USB 1x Ethernet RJ-45 2x BNC |
| 后面板接口 | 1x serial USB 2.0 1x Ethernet RJ-45 1x RS-232 DB-9 legacy serial for legacy STACIS 2100 isolators |
| 用户界面 | 前面板液晶显示器 超级终端上的字符菜单 针对Microsoft Windows的扩展GUI 嵌入式以太网GUI |
在VC-C（500μin。/ s，12.5μm/ s RMS）下模拟振动测试4500磅（2045 kg）
更多详细信息请！
6