毒性气体常用于实验室气路管道研究或工业生产上，毒性气体种类很多，应用也各不相同，对于毒性气体输送管道系统要求非常严格，在设计和施工上需要注意很多问题，才能提高应用安全度。

　　常见有毒有害气体按其毒害性质不同，可分为：

　　①刺激性气体——是指对眼和呼吸道粘膜有刺激作用的气体 它是化学工业常遇

到的有毒气体。刺激性气体的种类甚多，最常见的有氯、氨、氮氧化物、光气、氟化氢、二氧化硫、三氧化硫和*等。

　　②窒息性气体——是指能造成机体缺氧的有毒气体 窒息性气体可分为单纯窒息性

气体、血液窒息性气体和细胞窒息性气体。如氮气、甲烷、乙烷、乙烯、一氧化碳、硝基苯的蒸气、氰化氢、硫化氢等。

　　毒性、腐蚀性气体如Cl2、HBr等，具有强烈的腐蚀性，除铂金、黄金等金属外，能和绝大多数金属发生化学反应，是强还原剂。磷烷、硼wan等气体在半导体刻蚀领域应用广泛，是电子工业*的耗材。

　　结合毒腐性气体的强还原性，我们知道此类气体的输送只能选择现阶段好的洁净管道--SUS316L的无缝钢管，同时抛光等级必须选择好的EP级，内管镜面抛光，最大限度的减少流体介质的残留。

　　1. 焊接工艺

　　项目组在毒腐特气管道焊接方面采用自动轨道焊接机，杜绝国产焊接设备，严禁手工氩弧焊接，程度的保证管道的焊接质量。严格控制焊接工艺，所用焊缝务必进行内吹扫，并对焊缝进行X探伤，试验取样等工作。

　　2. 成品打磨

　　毒腐气体一般选择GC、VMB等设备进行介质的输送，洁净室在生产设备时候务必保证设备的洁净度，同时对所有盘面要进行100%氦检漏，检验合格后，方可出厂。

　　3. 现场管理

　　项目组在进场施工前，需要做好完善的施工计划，管理人员要抓住以下细节：

　　A. 设备安装

　　B. 管道架设

　　C. 管道焊接

　　D. 管井安全

　　E. 侦测联动测试