完整性泡点孔径测试仪采用常用的全自动数字进气控制子系统，摒弃了国内落后的机械半自动进气方式（即手动调节单向节流阀改变气体流量），使测试仪能够在不同的气源压力和测试条件下工作稳定可靠，特别是当客户使用的气源压力波动较大时，仪器具有自动稳定和数字控制技术，确保测试结果的准确性和准确性。

　　由于毛细作用，润湿液停留在膜的多孔通道中，这种毛细作用随着孔径的减小而增加。取决于膜孔径的气体压力迫使液体流出孔。此时的压力称为“泡点”或简称BP。液体会从膜上的大孔径中流出。因此，滤芯的BP值还与膜材料的表面张力有关（润湿角因材料不同而异），尤其是润湿液。低表面张力液体，如有机溶剂、洗涤剂和乳化剂，其BP值较低。BP值还与润湿介质的温度有关。完整性泡点孔径测试仪泡点测试法特别适用于晶圆薄膜的完整性测试。

 

　　当样品高压侧的气体压力大于样品膜孔中的毛细压力和表面张力时，它会从样品的另一侧释放，压紧孔隙中的润湿液通过气体压力排出到样品的低压侧。此时试样高压侧的压力被认为是泡点压力，此时的现象应该是试样中出现一系列连续的气泡。

　　完整性泡点孔径测试仪在进行完整性测试之前，必须确保测试过滤材料已被*浸泡。人工渗透的方法一般如下：将滤料放入渗透液中充分浸泡20分钟左右，每隔3分钟提起一次滤料以消除气泡，使大气压水力渗入膜孔。产品润湿液不是指水，也不是产品或工艺流体，而是指溶剂。产品润湿后，同一滤材的完整性测试结果可能会有所不同。造成它们不同的原因是润湿液的表面张力系数不同。测试气体在扩散流中的溶解度和扩散能力也会造成测试结果的不一致。对于该系统，推荐的浸泡溶液是碳氟化合物、无水乙醇或60%异丙醇和水的混合物。由于界面张力的分子重力，润湿液被牢牢锁在滤料的微孔间隙中。