大气压力传感器的应用及原理
时间：2023-03-22 阅读：934
大气压力传感器与半导体压敏电阻压力传感器的制作原理类似，也是采用集成电路与微加工技术，在一块半导体基片（硅片）上形成压力传感器、温度补偿电路和放大电路。
在硅片的中间，从反面经异向腐蚀形成了一个正方形的膜片（利用膜片将压力变换成应力），在膜片的表面，通过扩散杂质形成4个P型的测量电阻，以惠斯顿电桥方式连接，利用膜片的压阻效应（将加在膜片上的压力变换成电阻的变化），在两个输出端子之间输出一定的电位差。
在硅片的中间，从反面经异向腐蚀形成了一个正方形的膜片（利用膜片将压力变换成应力），在膜片的表面，通过扩散杂质形成4个P型的测量电阻，以惠斯顿电桥方式连接，利用膜片的压阻效应（将加在膜片上的压力变换成电阻的变化），在两个输出端子之间输出一定的电位差。
膜片的里面与硅杯之间设计成真空腔，用于缓和外部的应力，并以此真空腔的压力为基准来测量大气压力。