SFA系统主要由SFA、光源、光谱仪、摄像机和计算机组成，其系统组成如图所示。当系统运行时，由光源发出的白光经过光学镜组准直并过滤红外后导入SFA 主体。进入SFA主腔体(Main chamber)的准直白光垂直入射到固定在表面基座中的两个样品表面上，并在样品背面的两个银层之间发生多光束干涉。带有表面间实时信息的透射光通过棱镜导入光谱仪，并经过光栅分光后生成可视的 FECO条纹。光谱仪输出的FECO条纹最后由摄像机拍摄并录入计算机。品表面上，并在样品背面的两个银层之间发生多光束干涉.带有表面间实时信息的透射光通过棱镜导入光谱仪，并经过光栅分光后生成可视的FeCo条纹.光谱仪输出的FeCo条纹最后由摄像机拍摄并录入计算机.