产品介绍：

名  称：安赛斯程控匀胶机

型  号：12英寸

应  用：安赛斯程控匀胶机匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。

产品概述：

　　安赛斯程控匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。

　　不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观；工业级别400瓦伺服电机系统，采用于track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中大达到50000rpm/s的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和*的可重复性。

性能参数：

l  主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）

l  旋涂程序：多存100组程序，每组100步，每个步骤可达到0.1秒

l  转动速度：0-5,000rpm（更高速可选），考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm

l  旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可选），考虑重片或大片旋涂安全性限定为10000rpm/s

l  马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm

l  转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm

l  工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圆晶）

l  旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）

产品特点：

l  内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。

l  7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。

l  Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。

l  标准配置转速5000rpm，并可根据用户需要进行定制。

l  采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

l  机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，不会生锈，便于清洗。

l  透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时*隔绝光刻胶的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。

产品外型尺寸：613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)

咨询或索取详细产品资料，请联系ANALYSIS（安赛斯）工作人员。

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