光刻烤胶机的使用方法
时间:2024-10-15 阅读:296
光刻烤胶机可长时间持续稳定工作,适用于各种光刻工艺需求,确保烘胶效果和质量。其紧凑的外形设计和触摸屏参数设置使操作方便,是实验室和制程工作的可靠选择。
光刻烤胶机的操作步骤:
1、检查烤胶机的温度控制系统是否正常,包括加热板的温度均匀性和稳定性。确认设备的通风和排气系统是否畅通,以防止有害气体的积聚。
2、对涂有感光胶的硅片进行视觉检查,排除表面有明显的污渍或损伤。将硅片放置在烤胶机的加热板上,注意要轻放以避免造成胶层的不均匀或气泡的产生。确保硅片与加热板的良好接触,以保证热量能够均匀传递。
3、温度控制是烤胶过程中的关键。前烘的温度设置在较低的水平,目的是慢慢驱除胶层中的溶剂,避免溶剂过快蒸发导致胶层出现针孔或裂纹。后烘的温度则需要根据感光胶的型号和特性来设定,通常比前烘的温度要高,以确保曝光后的图案能够固定下来。烤胶时间需要根据胶层的厚度和所需的固化程度来设定。
4、烤胶完成后,小心地将硅片从烤胶机上取下,并对其进行冷却处理。冷却后的硅片可以进行后续的光刻曝光和显影处理。