荧光光谱仪光谱分析的过程:
 

　　1.把试样在能量的作用下蒸发、原子化(转变成气态原子)，并使气态原子的外层电子激发至高能态。当从较高的能级跃迁到较低的能级时，原子将释放出多余的能量而发射出特征谱线。这一过程称为蒸发、原子化和激发，需借助于激发光源来实现。
 

　　2.把原子所产生的辐射进行色散分光，按波长顺序记录在感光板上，就可呈现出有规则的光谱线条，即光谱图。荧光光谱仪借助于摄谱仪器的分光和检测装置来实现。
 

　　3.根据所得光谱图进行定性鉴定或定量分析。由于不同元素的原子结构不同，当被激发后发射光谱线的波长不尽相同，即每种元素都有其特征的波长，故根据这些元素的特征光谱就可以准确无误的鉴别元素的存在(定性分析)，而这些荧光光谱仪光谱线的强度与试样中该元素的含量有关，因此还可利用这些谱线的强度来测定元素的含量(定量分析)。