S1000 校准图形放大倍率标准样品-光学计量器具：

S1000 校准图形放大倍率标准样品-光学计量器具：

本标准样品的线距值由德国联邦物理研究所(PTB)使用一台大范围计量型扫描力显微镜(M- LRSFM)进行测量，测量结果可直接溯源至米定义计量基准。各线距结构的测量值分别为：400006±42nm(X方向)、400018±4.2nm(Y方向)、200004±1.8nm(X方向)、200000±1.8nm(Y方向)、100002±0.5mm(X方向)、100000±0.5mm(Y方向)、500000.6mm(X方向)、50003±0.6mm(Y方向)、1000.4±0.7nm(X方向)1000.4±0.7mm(Y方向)，置信限为95%，k=2。

测量范围：线间隔结构—（0-50）μm

不确定度/准确度等级：Ｕ=（1+2*10-3*p）nm，k=2（Ｐ-nm）

> >  特点：

1、拥有现代的加工工艺，研制技术本身具有足够的精度等保证其质量
2、底层镀有纯钛层，表面有120nm厚的Au膜，不仅可长期稳定保存，而且具有良好的导电性
3、具有格栅状双向结构，与早期使用的初级铜网结构相似，   是可以同时对任意两个垂直方向上的扫描电镜、电子探针的图像的放大倍率进行检查或校正的标样
4、有德国PTB的计量型原子力显微镜的测量研究报告和研制者的研制报告正式发布(见“扫描电镜测长问题的讨论”一书)，即采用目前精度很好、可溯源的检测方法，有可靠的文献依据
5、S1000曾经过我国国家计量研究院的多次检验测试，并多次获得合格证书；
6、S1000早在2005年通过全国微束标委会的有关专家评审通过，具备报批国家标准样品的资格，证明其质量优良
7、公开出版的“扫描电镜测长问题的讨论”专著实际上是一本S1000的综合性的研制报告；
8、价格低廉，易于保存、易于普及到每个扫描电镜和电子探针实验室
9、功能多，用途多
(1)可用于同时对任意两个垂直方向上的扫描电镜的图像的放大倍率进行检查或校正，是校准从10×~100，000×及以上范围的图像放大倍率的有效的图形标准样品：是执行GB/T27788“微束分析一扫描电镜一图像放大倍率校准导则”一个精准的校准标样
(2)可直接用于同一量级物体，毫米量级到纳米量级长度的精确比对测量，是执行GB/T16594和GB/T20307微米和纳米测量的一个不能缺少的精准的度量工具
(3)可用于对图像的X、Y方向上的畸变和边缘的畸变进行校验，是评价扫描电镜图像质量的一个重要工具
(4)对样品台倾斜角和电子倾斜以及旋转调整功能的检验也有较好的作用

(5)利用标样上的“点子”图像，可对电子束作漂移检验和样品台复位检验