美国G+F流量传感器的数值研究
　　流量测量问题与工业生产和人民生活息息相关，也一直是科研人员所关注的重要课题。伴随科学技术及工业工程微型化的进程，流量测量问题已由宏观尺度转移到微观领域，微小尺度下流体流量的精确测量问题成为新的科研难点，极需要微型流量传感器的设计与应用。流量传感器是应用zui广泛的三种传感器之一，随着各种传感器的开发与应用，以加热器作为工作平台的传感器在物理、化学、生物等传感器上得到了充分的重视，成为传感器领域研究的一个重点。

　　美国G+F流量传感器的数值研究
　　论文从理论分析、模型结构设计以及数值仿真和实验探究方面对提出的一种无反馈式微小尺度射流流量传感器进行了系统研究。论文的主要研究内容如下： （1）对MEMS系统下的微小流量测量的相关理论及研究方法进行了梳理，详细介绍了射流流量计在流量测量方面的*优势以及研究现状，综述了微流体的研究进展，并介绍了流动数值计算方法的相关情况。 （2）详细介绍了射流传感器流量测量的基本理论。对射流的概念、分类、理论特性以及应用作了概括，重点研究了基于射流振荡的流量测量原理和数学模型，其中包括对射流卷吸现象、射流附壁效应和双稳结构射流元件的分析。 （3）提出了一种无反馈式微小尺度射流流量传感器的结构模型，建立了该传感器的二维和三维几何模型和网格计算模型，并运用流体数值模拟软件对该振荡器开展了二维和三维数值仿真研究，得到了射流振荡器的动态输出特性，建立了微小流量测量模型。 （4）根据仿真结果加工出两种深度的微小尺度射流振荡器微流控芯片，并采用流体显示技术Micro-PIV对无反馈式射流振荡器进行了探索性研究，分别对H60腔体和H100腔体进行了实流研究，并对实验结果进行了系统分析。并以其中一类传感器结构为例，介绍了传感器工作在恒流情况下的气体流速引起热敏电阻的变化率与输出电压的关系，并伴以数学模型解释。 本课题采用MEMS工艺制作热膜式气体质量流量传感器，主要工作放在敏感头芯片部分的研制。从敏感头的芯片热敏电阻材料的选取、热敏电阻结构设计和制备、信号处理电路的设计等方面进行了详尽的理论分析和反复的实践验证。运用有限元分析热温度场与气体流速的关系。zui后，给出环境温度条件下气体流量与输出电压的关系，结果呈现线性趋势。 研制热膜式气体质量流量传感器，目的就是通过实验，掌握MEMS工艺，制作薄膜热敏电阻并了解其与气体的流量以及输出电压的关系，以期待可以制备性能良好的该类产品来取代进口的产品，推广热式气体传感器的应用。

　　美国G+F流量传感器的数值研究
　　利用流体在特定流道条件下的振荡频率与流速成线性关系的规律，提出了微小尺度下射流流量传感器的流量测量方法，采用二维和三维数值仿真研究和微流控芯片的实验研究对微小尺度下的流量传感技术做了探索性的研究，获得了微小尺度射流流量传感器的动态特性参数，建立了微小尺度下流体的流量测量模型。