美国ZYGO激光干涉仪现场培训-上海飞机制造有限公司

我司朱经理协同激光干涉仪工厂工程师前往上海飞机制造有限公司进行产品技术培训，现场为客户进行产品测量，产品解说及仪器的操作。

系统参数：

◆原理 非接触、三维白光扫描干涉仪

◆扫描装置: 长范围 Z 轴调节

◆物镜: 无限共轭干涉物镜：标准工作距离2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x；长工作距离：1x, 2x, 5x, 10x,详见物镜参数表

◆视场: 跟所选物镜有关

◆光源: 长寿命白光 LED，计算机控制光强

◆物镜座: 螺纹物镜座（标准）；

◆选件: 可快速装卸单物镜夹具（可选）；电控或手动 4 位物镜塔台（可选）。

◆辅助聚焦: 软件控制辅助聚焦

◆测量阵列: 1024×1024

◆样件观察: 软件集成交互式实时观察

◆Z 轴: 100mm 行程，主机头具有两种可选安装高度，以优化工作距离

◆样品台控制: USB 控制器，人体工程学设计的拇指控制按钮，可控制速度和聚焦模式切换

◆安全性: 系统集成紧急制动功能

◆样品台: 手动,俯仰倾斜±4°; 手动XY平移50x100mm; 集成T型槽板利于固定附件

◆计算机: 高性能DELL计算机, 宽屏1080P LCD，64位，Windows 7系统

◆软件: ZeMapsTM

◆尺寸（HWD）: 系统：156×127×76cm; 工作桌：74x127x76cm; ZeGage 主机：82x53x53cm

◆重量: ZeGage 主机：54Kg; 工作台：37Kg

性能：

◆纵向扫描范围：≤ 20 mm，(受限于物镜工作距离)

◆表面形貌重复性：＜3nm（根据 ISO/DIS 25178 604 部，附件 D）

◆光学分辨率（横向）：0.52um ～9.50um，与所选物镜有关

◆扫描速度： ≤ 23 um/秒

◆大数据点： 1,048,576

◆台阶测量： 准确度 ≤ 1%； 重复性≤ 0.1% @ 1σ

被测样品特性：

◆材料： 各种材料的表面：透明，不透明，镀膜，非镀膜，反射，弱反射

◆反射率：1-100%

环境要求：

◆温度： 15-30℃

◆温度变化率： ＜1.0°C/15分钟

◆湿度： 相对湿度 5%-95%，无凝结

◆隔振： 不需要

◆振动准则： VC-C 或有更好的推荐