真空度测试仪简介 

真空度测试仪是真空灭弧室的真空度的鉴定设备。经西安高压电器研究所检验并出具合格证书。是目前国内能wei一的真实检测真空含量的少数ping牌之一。它以单片计算机为主控单元，测试过程*实现自动化。该仪器在原理上改变了国内外同类产品采用电流峰值做标定的方法，而采用离子电荷来做标定。这样，在物理原理上准确性更高，而且，有效地抑制了测试过程中脉冲电源的干扰，使测试稳定可靠。该仪器采用二次采样的方法扣除由于环境因素产生的漏电电流，并且在测量过程中考虑了*漏气的真空灭弧室的判别，真正做到了对安装于整机上的真空灭弧室的准确计量。目前，该仪器中已存有35条真空灭弧室的测量标准曲线，涵盖了国内外绝大多数管型。该仪器质量过硬，性能可靠，造形美观，使用方便。

真空度测试仪性能特点：

• 基于电离电荷的采样技术

真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样技术。我公司专家在磁控放电的研究中发现：在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时，真空灭弧室内的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系，而与电离电流的峰值仅有概率上的相关间接关系。因此，我公司sou创了基于电离电荷的采样技术，显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。

• 高低压管型测试

       本机另外对测试电压输出应用了两个档位(高压3万低压2.5)，因此可对高低压不同的各类管型时行有效测试。

• 内置国内外几乎所有真空灭弧室的测量曲线

真空灭弧室由于其几何尺寸、材料的不同，当内部真空度和外加激励电源一定时，其放电电荷量是不同的，并且有相当的差异。为准确测量，对每一种真空灭弧室必须有对应的从电离电荷量到真空度推算曲线。我公司的专家通过与国内主要真空灭弧室生产厂家的密切合作，取得了几乎国内外所有真空灭弧室的电离电荷和真空度关系的数据，通过数学处理，将其特征参数送入本系列产品。因此，本系列产品内置国内外几乎所有真空灭弧室的测量曲线。这是国内外同类产品中jie无仅有的。

• 漏电电流的处理

对处于分断状态的真空灭弧室动触头加高压静触头端加负离子电流时，静触头端会有数值不等的几个微安的漏电电流，此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室，由于其周边的绝缘支撑件也有漏电，这些漏电的总和有更大的不稳定性和不可预测性。并且在数值上与10E—4Pa数量级的真空灭弧室的电离电流相当。我们采用二次起动高压的方法，扣除了漏电电流，保证了无论是装于整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。

• 判别*漏气的真空灭弧室

在本型机中，通过高压击穿的方式判别真空灭弧室是否*漏气。

• 完善的输入保护电路

当真空灭弧室的真空度非常低时，测量时真空灭弧室会被高压击穿，瞬间的高压直接加至负离子电流采样电路上，使其承受十分强的电冲击。采样电路增加了完备的保护电路，即使仪器由于输入端的高压直接加到负离子电流采样端居第yi时间，微电脑保护装置会立即起控，使其进入保护状态，就不会造成电路严重的损坏。

• 数据记录

       内设微型打印机，可随时打印出

第三章  真空度测试仪测试原理

利用离子电流在不同真空条件下的漏电流不同，来测试鉴别真空灭孤室优劣。

将灭弧室两触头拉开一定的开距，动触头施力高压脉冲静触头施加负离子电流。由于漏电电流非常弱，易于受到外界不同的干扰而降低精度。因此，必须通过励磁线圈绕于灭弧室外侧，向线圈通以大电流，从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场来，加速离子流，按比例放大采样率。这样，在脉冲磁场的作用下，灭弧室中的电子作螺旋运动，并与残余气体分子发生碰撞电离，所产生的离子电流与残余气体密度即真空度近似成比例关系。对于直径不同的真空管，在同等真空度条件下，离子电流的大小也不相同。通过实验可以标定出各种管型的真空度与离子电流的对应关系曲线。当测知离子电流后，调用内部相对应的比例参样，加以精确运算，得出准确真实真空度值。也就是说通过查询该管型的离子电流——真空度曲线获得该管型的真空度，这一过程由计算机自动完成。

第四章  真空度测试仪技术参数

• 所测真空泡：电压等级6KV-35KV以上
• 测量范围：10^-6-10^-1Pa
• 测量误差：10^-4-10^-1Pa中误差±10%
• 测量分辨率：10^-5 Pa
• 漏气的灭弧室在测量中将发生电击穿，本机处于保护状态。
• 允许环温：-20℃-50℃，如在0℃以下测试时请先将机器通电20分钟后再使用。
• 空气湿度：＜85%RH
• 输入电源：AC220V±10% 50/60HZ
• 外形尺寸：350×320×225mm