旋转涂膜机适用于半导体、晶体、CD、制版等表面镀膜工艺，可用于强酸和强碱涂膜溶液的涂膜制备。该机可以对镀膜机的腔体抽真空，使样品在真空的状态下进行镀膜，适合使用在空气中容易氧化变质的薄膜材料。镀膜机工作时，样品通过真空托盘吸附固定在样品装载托盘上。该设备可存储12组程序，每组程序包含6个运行阶段。设备在不同运行阶段的不同转数，使设备缓慢提高到极限速度，有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜，不会浪费太多，从而节省材料，具有操作简单、清洗方便、体积小等优点，主要用于各大学和研究所的实验室生成薄膜。
 

　　

　　1、旋转涂膜机共有12组程序，每组包括6个运行阶段。每级升降速率的设定范围为100-2000rpm/s，每级时间范围为0-60s。

　　

　　2、样品可以通过真空吸附或粘接或夹紧来固定，操作简单。

　　

　　3、吸盘的真空度可以达到-0.08MPa。

　　

　　4、使用定位工具，样品可以很容易地放置在中心位置，以减少偏心引起的振动或飞片。

　　

　　5、可根据样品规格使用不同的吸盘，更换方便简单。

　　

　　6、电机采用DC无刷电机，无级调速，可靠性高，适应性强，维修保养简单，噪音低，振动小，运转平稳，启动快速平稳，加速后运转平稳，能保证涂层厚度的一致性和均匀性。

　　

　　7、真空吸附固定样品时，采用无油平行杆真空泵，具有体积小、结构简单、操作简单、维修方便、无环境污染等优点。

　　

　　8、涂覆可以在惰性气体气氛中进行。

　　

　　9、涂覆可以在真空状态下进行。此时，需要通过粘合基板或夹紧基板来固定涂覆的基板。

　　

　　10、旋转涂膜机腔体整体由聚丙烯制成，使用寿命更长，耐化学腐蚀性能提高，抗应力开裂性能优异。

　　

　　11、具有开盖保护功能。当涂层过程中或涂层结束时打开盖子时，机器将快速减速直至停止。

　　

　　12、控制器采用控制箱，液晶显示数值，更加直观可靠。