在电镜电极真空系统中，需要经常检查机械旋转泵和油扩散泵的油面，一旦发现油面下降应及时加油。旋转泵若缺油不仅会磨坏轴套上的油封圈，而且对旋片端头和内腔壁也可能会造成*性的损伤，使极限真空度下降。用真空计检查真空度是必要 的，但是随着真空系统的自动化，有的电镜为了降低成本，把某些真空计也省略掉 了。为了提高真空系统的可靠性，延长各部件的使用寿命，对以下各点多加留意，以便能及时发现异常情况，随时做好维护和保养的措施。
(1) 电镜电极在正常的偏置电压和发射电流下工作，若灯丝的寿命变得越来越短，这很 可能是真空度已变差，改善的办法是检查各部件的运行情况，采取有针对性的措施 进行解决，如检查真空系统的连接部位是否松动？查明原因，有的放矢，尽量提高电镜真空系统的真空度。
(2) 电镜电极若电子枪、衬管、光栏和样品仓等部位的污染加快、加重，则意味着冷却循环水的冷却效果变差，有可能是冷却水的压力下降、水温上升或管道内水垢增厚，这些都会导致制冷效果不良。此时要采取相应的解决办法，如调高循环水的压力或调低水温、排除循环水通道中的堵塞滅清断却管道中的水鮮相应措施。
(3) 电镜电极及时排出空压机巾随水，那不同实验室环境難的大小，以及用气量多少的不同，—般在南方地区春季约4?5周、夏季约6?7周、秋、冬季约8?9周排水一次。