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2600-PCT-4B半导体测试系统
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为了实现这种性能,吉时利公司已经开发出一系列高精密电缆,实现与吉时利8010型高功率器件测试夹具或8020型高功率接口面板的连接,前者用于封装部件测试,后者用于晶圆级测试。对于高电压通道,定制三轴电缆可以提供保护路径,支持快速稳定和超低电流,包括在3kV全高压情况下。对于高电流通道,低电感电缆可以提供快速上升时间脉冲,使器件自热效应达到最小。
1. 用于提取参数的测试方法。仅列出典型MOSFET,其他器件使用的方法类似。
2. 2657A型高功率系统数字源表仪器。
3. 2636B型数字源表或4210型源测量单元(SMU)仪器。
4. 2651A型高功率系统数字源表仪器或者可选择双2651A型高功率系统数字源表仪器。
5. 在3000V电压时电流20mA,在1500V电压时电流120mA。
6. 典型提取能力(示例: 1mA/1V ~ 1A/1mV)。
7. 典型提取能力(示例: 1mV/10A)。
8. 使用PCT-CVU和CVU-3K-KIT时,±200V直流 (±3kV)偏置。
2600-PCT-4B半导体测试系统
6514 100aA - 20mA 10µV - 200V 10µV - 200V 10mΩ - 200GΩ 10fC - 20μC - - US $6,820
6517B 100aA - 20mA 10µV - 200V 10µV - 200V 100Ω - 10PΩ 10fC - 2μC 0 - ±1000V - US $10,300
6430 10aA - 100mA 1µV - 200V 1µV - 200V 1µΩ - >20TΩ - 0 - ±200V - US $19,800
6220/2182A 1nV-100V 1nV-100V 10nΩ - 100MΩ DC:±10fA – 100mA RS-232、GPIB RS-232、GPIB
6221/2182A 1nV – 100V 1nV – 100V 10nΩ - 100MΩ "DC:±10fA – 100mA
AC:4pAp-p – 200mAp-p" RS-232、GPIB、LAN
DMM6500 15 "100 nV
10 pA
1 µOhm" "1 M 采样/秒
16 位" US $1,250
DMM7510-NFP 7.5 GPIB /USB (TMC) / LAN (LXI) 在线购买 US $3,970
DMM7510-NFP-RACK 7.5 GPIB /USB (TMC) / LAN (LXI) 在线购买 US $3,970
DMM7510 7.5 GPIB /USB (TMC) / LAN (LXI) 在线购买 US $4,110
DMM7510-RACK 7.5 GPIB /USB (TMC) / LAN (LXI) 在线购买 US $4,110
2110-100 5.5 USB (TMC) 在线购买 US $723
2110-120 5.5 USB (TMC) 在线购买 US $723