为了减小器件因过压击穿造成损坏的可能性和提高高频直流电源装置的可靠性，可采用硅雪崩高频直流电源。在这种器件中，当反向电压超过允许峰值时，在整个PN结上发生均匀的雪崩击穿，器件可工作在高压大电流下，故能承受相当大的反向浪涌功率。制作这种器件时要求材料缺陷少，电阻率均匀，结面平整，外露结区还应进行适当保护，避免发生表面击穿。硒高频直流电源的抗过载容量大，承受反向浪涌功率的能力也较强。