开启式管式炉是一种金属热处理工艺，利用红外灯管加热技术和腔体冷壁技术，实现快速升温和降温，从而实现特定热处理工艺。指的是将金属缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却，有时是自然冷却，有时是控制速度冷却的热处理方法。

 

　　其主要应用领域是以集成电路领域（以硅为代表的一代半导体）和光电子领域（以砷化镓代表的二代半导体）为代表的半导体领域。在半导体工艺中，热处理/退火是不可少的工艺，这是因为半导体器件都是为了实现功能化，这就意味着电信号的输入/输出，这些都需要金属电极来协助完成。

 

　　开启式管式炉是由加热室和自动温度控制器组成的，下面咱们来详细了解下：

 

　　1、加热室：由耐火材料和碳化硅、氧化镁、氧化铝等组成，电加热丝为镍铬合金丝。外面是用铁板做的，上面涂有皱纹漆。炉门上有一个小洞，里面嵌着透明的云母片，可以窥视炉子的情况。

 

　　2、自动温度控制器：是电子管的高频振荡电路，其中储能线圈由于耦合储能装置的适当配合而固定在一定的振荡频率上。储能线圈具有恒温指标和大热电偶温度计，能清楚地指示高温烧结炉的温度。指针上有一面小金属旗。当炉温升到所需温度时，温度指数很小。当旗子与储能线圈耦合时，振荡电流随机停止，管板极性电流发生变化，使其动作灵敏，然后控制强继电器切断电热丝电流，使温度不再升高。当温度下降时，指针的标志与储能线圈失去耦合，管恢复振荡，受控强继电器也恢复振荡。同时，通过电流可以恢复，炉温可以逐渐升高，这样由于电流的不连续性，达到了自动保持一定温度的目的。