TC WAFER晶圆测温系统 晶圆硅片测温热电偶

TC wafer是什么？

      TC为热电偶的简称， TC-Wafer是将高精度温度传感器镶嵌在晶圆表面，对晶圆表面的温度进行实时测量。通过晶圆的测温点了解特定位置晶圆的真实温度，以及晶圆整体的温度分布，同还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化，获得升温、降温以及恒温过程期间的温度温度数据，从而了解半导体设备的温度均匀度。

智测电子生产研发的Wafer-TC晶圆热电偶温度传感器，其温度范围广泛，智测电子的产品设计考虑到了用户的实际需求，传感器引线可定制，且采用了硅基胶粘剂和焊接技术，使其具有更好的性能和可靠性。 总之，智测电子的高精度温度传感器不仅在技术上具备优势，而且在服务方面也能够为用户提供专业的解决方案。

TC-Wafer晶圆温度测量系统应用于许多行业，包括快速热处理 (RTP)、快速热退火 (RTA)、曝光后烘烤 (PEB)、化学气相沉积 (CVD)、物理气相沉积 (PVD)、ION 等应用注入、太阳能电池和许多其他热驱动工艺。智测电子具有高精度温度测量与控制技术和经验，支持产品定制。

TC WAFER晶圆测温系统 晶圆硅片测温热电偶