SEC-Z512、Z522、Z524-horiba高品质数字式质量流量计_horiba压力控制器-上海进佳科学仪器有限公司手机版

详细介绍

畅销型号：SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可选低成本数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可选低成本模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

国内组装模拟型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300。

国内组装数字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。

一、产品概述：

horiba高品质数字式质量流量计SEC-Z512、Z522、Z524属于SEC-500X系列，高性能数字式质量流量控制器多用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中，国内多回收、二次销售，我公司提供进口Z514、Z524，保修期1年。

二、产品特点：

1)多种气体及多种流量范围，可以自由地更改气体类型及更改满量程流量，现场设定；

2)超高精度：±1.0% S.P.(25-100% F.S.);±0.25% F.S.(≤25% F.S.)；

3)快速响应：<1秒(全量程范围内，任意设置点)；

4)非常方便的现场设置操作；

5)多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以zui大限度地减少库存；

6)与现有模拟式质量流量控制器兼容；

7)模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行；

8)气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢(1sccm~50slpm F.S.类型)；SUS 316L不锈钢，Viton(氟化橡胶-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不锈钢(100~200slpm F.S.类型)。

三、horiba高品质数字式质量流量计产品参数：

规格-数字-模拟转换模式
型号*1	SEC-Z512、Z514	SEC-Z512MGX	SEC-Z522MGXN	SEC-Z522MGX
		SEC-Z514MGX	SEC-Z524MGXN	SEC-Z524MGX
全标准流量(N2转换流量)	1/2SCCM	10SCCM-10SLPM	10-50SLM
阀门类型	O:通常打开 C:通常关闭
关闭控制阀时的流量	≤2% F.S.
流量测量范围	0-100% of F.S.
精确性*2	±1.0%F.S.	±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)
		±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)
工作温度	5-50°C(建议温度范围:15-45°C)
响应	≤1秒:超过全流量范围
直线性	≤±0.5% F.S.
反复性	≤±0.2% F.S.
工作压差值	≤300kPa(d)
zui大工作压力	450kPa(g)
耐压	1000kPa(g)
外部泄漏率	≤5x10-12Pa·m3/s(He)
流量设定信号	0.1-5V DC(2%-F.S.);输入阻抗1MΩ或更高
流量输出信号	0-5VDC(0%-F.S.);zui小负荷阻力2kΩ或更高
数字界面	地址功能:RS-485(转换速度38,400bps)
	F-Net协议,DevceNet
接液部材质	316L不锈钢(表面抛光)
电源	+15V±5% 150mA
	-15V±5% 150mA
信号反应	模拟:D-Sub 9-pin(TOP)
	数字:2LAN jacks(TOP)
标准接头*3	1/4 inch VCR		1/4 inch VCR	1.5 inch IGS
	选择:1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS		可选1.125 inch IGS
安装方向	自由
1SEC(SEF)-Z512MGX,Z522MGX,和Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。 2流量精度保证温度符合SEMI E56-1296标准。精度是联合全范围MR以及MG数字值。 3IGS:完整气体系统。 SCCM和SLM是表示气体流量的记号。(mL/min,L/min,at0°C和101.3kPa)。

本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器。

进口数字型号:SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG。

进口低成本数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。

进口低成本模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S，omega FMA1815S。

国内组装模拟型：Horiba S48 28、horiba S48 32。

国内组装数字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。

Horiba液体流量控制器LV-F20 PO、LV-F30 PO、LV-F30 PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60 PO、LV-F20 MO、LV-F40 MO、LV-F60 MO、LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F50M、LF-F60M

配套的阀门管件：韩国TKF 1/4手动隔膜阀S4DVN-VM-P、1/2手动隔膜阀S8DVN-VM-P、1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P、UN4GT、S4MN、S4FN，美国Valex不锈钢管，1/4”EP级不锈钢管、3/8”EP级不锈钢管、1/2”EP级不锈钢管。