HORIBA/堀场 品牌
代理商厂商性质
上海市所在地
畅销型号：SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。
可选低成本数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可选低成本模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
国内组装模拟型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300。
国内组装数字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。
一、产品概述：
horiba高品质数字式质量流量计SEC-Z512、Z522、Z524属于SEC-500X系列，高性能数字式质量流量控制器多用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中，国内多回收、二次销售，我公司提供进口Z514、Z524，保修期1年。
二、产品特点：
1)多种气体及多种流量范围，可以自由地更改气体类型及更改满量程流量，现场设定；
2)超高精度：±1.0% S.P.(25-100% F.S.);±0.25% F.S.(≤25% F.S.)；
3)快速响应：<1秒(全量程范围内，任意设置点)；
4)非常方便的现场设置操作；
5)多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以zui大限度地减少库存；
6)与现有模拟式质量流量控制器兼容；
7)模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行；
8)气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢(1sccm~50slpm F.S.类型)；SUS 316L不锈钢，Viton(氟化橡胶-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不锈钢(100~200slpm F.S.类型)。
三、horiba高品质数字式质量流量计产品参数：
| 规格-数字-模拟转换模式 | ||||
| 型号*1 | SEC-Z512、Z514 | SEC-Z512MGX | SEC-Z522MGXN | SEC-Z522MGX |
| SEC-Z514MGX | SEC-Z524MGXN | SEC-Z524MGX | ||
| 全标准流量(N2转换流量) | 1/2SCCM | 10SCCM-10SLPM | 10-50SLM | |
| 阀门类型 | O:通常打开 C:通常关闭 | |||
| 关闭控制阀时的流量 | ≤2% F.S. | |||
| 流量测量范围 | 0-100% of F.S. | |||
| 精确性*2 | ±1.0%F.S. | ±1.0%S.P.(流量>25%F.S.) | ||
| ±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.) | ||||
| 工作温度 | 5-50°C(建议温度范围:15-45°C) | |||
| 响应 | ≤1秒:超过全流量范围 | |||
| 直线性 | ≤±0.5% F.S. | |||
| 反复性 | ≤±0.2% F.S. | |||
| 工作压差值 | ≤300kPa(d) | |||
| zui大工作压力 | 450kPa(g) | |||
| 耐压 | 1000kPa(g) | |||
| 外部泄漏率 | ≤5x10-12Pa·m3/s(He) | |||
| 流量设定信号 | 0.1-5V DC(2%-F.S.);输入阻抗1MΩ或更高 | |||
| 流量输出信号 | 0-5VDC(0%-F.S.);zui小负荷阻力2kΩ或更高 | |||
| 数字界面 | 地址功能:RS-485(转换速度38,400bps) | |||
| F-Net协议,DevceNet | ||||
| 接液部材质 | 316L不锈钢(表面抛光) | |||
| 电源 | +15V±5% 150mA | |||
| -15V±5% 150mA | ||||
| 信号反应 | 模拟:D-Sub 9-pin(TOP) | |||
| 数字:2LAN jacks(TOP) | ||||
| 标准接头*3 | 1/4 inch VCR | 1/4 inch VCR | 1.5 inch IGS | |
| 选择:1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS | 可选1.125 inch IGS | |||
| 安装方向 | 自由 | |||
| *1SEC(SEF)-Z512MGX,Z522MGX,和Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。 | ||||
本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器。
进口数字型号:SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG。
进口低成本数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。
进口低成本模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S，omega FMA1815S。
国内组装模拟型：Horiba S48 28、horiba S48 32。
国内组装数字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。
Horiba液体流量控制器LV-F20 PO、LV-F30 PO、LV-F30 PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60 PO、LV-F20 MO、LV-F40 MO、LV-F60 MO、LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F50M、LF-F60M
配套的阀门管件：韩国TKF 1/4手动隔膜阀S4DVN-VM-P、1/2手动隔膜阀S8DVN-VM-P、1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P、UN4GT、S4MN、S4FN，美国Valex不锈钢管，1/4”EP级不锈钢管、3/8”EP级不锈钢管、1/2”EP级不锈钢管。
