Horiba质量流量控制器SEC-N100系列优点：

大范围控制，从微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM

多种通讯方式及电源供给

特点介绍：

1、数字式/模拟式通信

RS-485/DeviceNet/Profibus/模拟式（电流/电压）

2、可与其它系列产品兼容

复合气体/复合量程

可以方便的在客户端更改对应气体和量程

3、高精度控制：±1.0%设定流量

选用与SEC-Z500系列相同的sensor和bypass

4、快速响应：在可控流量范围内，响应时间≦1sec

内置PID参数，可以调整响应时间

5、气阀种类：

电磁阀(~50SLM)

压电陶瓷阀(100/200SLM)

6、密封圈材质：橡胶或金属

7、气路表面：未经抛光处理

8、接口：仅有VCR接口

9、RoHS要求：满足RoHS要求

10、高精度：

±1.0% S.P.(*1)

1秒内快速响应(*1)

多气体，多量程解决方案

(*1)包括SEC-N17XR

11、多气体，多量程的功能

可使用软件方便的更改MFC的气体或满量程流量。

Horiba质量流量控制器SEC-N100系列技术参数：