HORIBA/堀场 品牌
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SEC-Z522MGX horiba高精度气体质量流量计Z522/Z532/Z542
量程0-20SLM、0-200SLM，RS485通讯/0-5VDC
畅销型号：SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。
可选低成本数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可选低成本模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
国内组装模拟型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300
国内组装数字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212
产品介绍：
气体质量流量计又称气体质量流量控制器，简称MFC。
主要功能是：控制器管路中的流量达到期望的设定值，同时反馈实际的流量信号到上位机。
大流量Horiba气体质量流量计SEC-Z512是一款高稳定性、高精度的MFC，用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中，国内多回收、二次销售。
我公司提供进口SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z532MGX、SEC-Z542MGX等，保证全新进口，终身维修。
SEC-Z522MGX horiba高精度气体质量流量计Z522/Z532/Z542产品特点：
1)多种气体及多种流量范围，可以自由地更改气体类型及更改满量程流量，现场设定；
2)超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)；
3)快速响应：<1秒(全量程范围内，任意设置点)；
4)非常方便的现场设置操作；
5)多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以zui大限度地减少库存；
6)与现有模拟式质量流量控制器兼容；
7)可选其他数字通讯：DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模拟信号。
产品参数：
| 规格-数字-模拟转换模式 | ||||
| 型号*1 | SEC-Z512、Z514 | SEC-Z512MGX | SEC-Z522MGXN | SEC-Z522MGX |
| SEC-Z514MGX | SEC-Z524MGXN | SEC-Z524MGX | ||
| 全标准流量 | 1/2SCCM | 10-50SLM | ||
| (N2 转换流量) | 10SCCM-10SLPM | |||
| 阀门类型 | O: 通常打开 C: 通常关闭 | |||
| 关闭控制阀时的流量 | ≤ 2% F.S. | |||
| 流量测量范围 | 0-100% of F.S. | |||
| 精确性*2 | ±1.0%F.S. | ±1.0%S.P.(流量>25%F.S.) | ||
| ±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.) | ||||
| 工作温度 | 5 -50°C (建议温度范围: 15 -45°C) | |||
| 响应 | ≤ 1 秒:超过全流量范围 | |||
| 直线性 | ≤ ±0.5% F.S. | |||
| 反复性 | ≤ ±0.2% F.S. | |||
| 工作压差值 | ≤ 300 kPa (d) | |||
| zui大工作压力 | 450 kPa (g) | |||
| 耐压 | 1000 kPa (g) | |||
| 外部泄漏率 | ≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He) | |||
| 流量设定信号 | 0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 输入阻抗 1 MΩ 或更高 | |||
| 流量输出信号 | 0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小负荷阻力 2 kΩ 或更高 | |||
| 数字界面 | 地址功能: RS-485 (转换速度 38,400 bps) | |||
| F-Net 协议,DevceNet | ||||
| 接液部材质 | 316L 不锈钢(表面抛光) | |||
| 电源 | +15V±5% 150mA | |||
| -15V±5% 150mA | ||||
| 信号反应 | 模拟: D-Sub 9-pin (TOP) | |||
| 数字: 2 LAN jacks (TOP) | ||||
| 标准接头*3 | 1/4 inch VCR | 1/4 inch VCR | 1.5 inch IGS | |
| 选择: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS | 可选1.125 inch IGS | |||
| 安装方向 | 自由 | |||
*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。
*2流量精度保证温度符合 SEMI E56-1296 标准。精度是联合全范围MR以及MG数字值。
*3IGS: 完整气体系统。
*SCCM 和 SLM 是表示气体流量的记号。 (mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)
订购注意：
请提供产品的介质名称、气体量程、接口尺寸。
如是设备备件的更换，请提供原产品的背面图片和侧面图片、顶部图片。
