一文了解什么是真空光纤馈通
时间:2023-02-08 阅读:277
真空光纤馈通采用金属耦合的方式(高真空光纤真空馈通采用O圈密封)来实现更高的真空度,以满足实验需求。可以将光导入或导出真空室,以实现超高真空的应用场合,例如半导体处理的光学监测和薄膜吸附的检测。采用VFT光纤过真空装置可以检测真空环境下,样品的透射/吸收,以及荧光反射等光学反应。
光纤馈通两端都是SMA905公接头;可以使用匹配套管连接光纤跳线。对于真空环境内部的馈通面,下方提供ADASMA兼容真空的SMA至SMA匹配套管,可用于连接兼容真空的跳线。此转接件由304不锈钢制成,用于超高真空(>10-10 Torr)系统,且具有Ø0.063英寸(Ø1.6 mm)通孔,作为通气口,以释放内部气体。在真空环境中使用光纤跳线时,请确保跳线兼容真空。
在隔空箱和高压应用场合下有较好的表现,真空度高达Z大 10^-7 mbar ,操作温度为200 °C(定制最高达300 °C)。
真空室要求壁厚5-40 mm,在腔体上开一个直径12mm的圆孔即可,注意紧贴O型圈的一面尽量光洁无划痕。
使用光洁度高的金属或者玻璃腔体,使VFT在超高真空应用场合的表现得到提高。
VFT光纤过真空装置除了在半导体和薄膜处理方面的应用,还是环境检测、药物学处理和光学涂层生产的理想工具。它还可以应用在分子束外延和化学物理的蒸汽吸附方面,可以作为配合隔空箱、手套箱和中压装置的性能优异的通管。
VFT真空光纤馈通的高压与低压面的终端可与SMA905连接器相连接,可以简单地与闻奕光电的光纤、光源、配件共同使用,以及公司的光谱仪等光学设备。