机床垂直度测量激光干涉仪

垂直度测量—重要性:
当垂直度误差为10秒时，两米的行程上偏差约为:0.1MM !​

★API XD激光干涉仪是通过PSD技术1:1进行直线度测量的，所以API干涉仪测两轴垂直度时只需一个五角棱镜既可，无需其他镜组. 装/调非常方便快速.
★在测两轴的垂直度的同时，两轴各自的线性定位误差、直线度，偏摆角、俯仰角都可一次测出，大大节省了测量所占用机床的时间，也可避免人为差错.

与传统的干涉仪相比，XD Laser能够对机器定位和轴向能力进行快速，准确的测量，从而可以进行完整的机器评估，并将机器停机时间减少多达80％。

实时分析:
XD Laser是**可以在一个设置中同时测量所有6个误差参数的评估系统。 还包括用于控制，数据采集和报告的软件.

数控直线轴:几何误差(21项/3轴)

• 线性定位误差(定位精度, 重复定位精度, 反向间隙)
• 直线度误差(XX及YY方向)
• 垂直度
• 偏摆角
• 俯仰角
• 数控转台甚至旋转轴
• 滚动角

一维测量系统:

• XD –1D
• 标准型&精密型
• 三维测量系统
• XD –3D
• 五维测量系统
• XD –5D标准型&精密型
• 六维测量系统
• XD –6D 标准型&精密型 

影响机床几何误差的因素:

• 环境因素:
• 􀂾环境温度: 变化1 ℃, 引起误差: 1 ppm(1微米/1米长);
• 􀂾大气压力: 变化2.5mmHg, 引起误差: 1 ppm:
• 􀂾相对湿度: 变化50%,引起误差: 1 ppm;
• 􀂾材料温度: 变化1 ℃, 引起误差: 11 ppm(钢),23 ppm(铝);
• 激光干涉仪测量精度(标准型):
• 􀂾仪器测量误差: 0.5 ppm(0.5微米/米)
• 􀂾激光长期稳频精度: 0.05 ppm 

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