8741 型必要时可以设置为 MFC 或者 MFM，且规定用于 büS 或者 CANopen 网络中。büS 网络技术以 CAN 物理层为基础，Bürkert 特别为涉及多个控制回路（通过工业以太网或者其他现场总线加以驱动）的应用而对其进行了研发。型号为 ME2X 的系统控制单元 (SCU, System Control Unit) 将客户的以太网通信传输到所有者的 büS 中，并驱动所有相连的电子设备。 设备之间的通信可以在 büS 和 CANopen 之间切换。借此，8741 型也可以集成到现有的 CANopen 基础设施中。 8741 型借助 MEMS 传感器进行气体质量流量的测量（用作 MFM）或者调节（作为 MFC）工作。传感器直接接触气体，因而可以在几百毫秒之内极其快速地做出反应。此外，测量工作不受压力或者温度波动的影响。可以对 MFC/MFM 进行校准，使其用于测量/调节两种不同的气体，用户可以在这两种气体之间进行切换。

采用 MEMS 技术直接测量流量
测量和重复精度高
反应时间非常之短
现场总线通信基于 CANopen
额定流量范围 0.010 l
N/min 至 160 l
N/min
? 高精度和高重复性
? 极快的反应时间
? 配置存储器简化设备更换
? 可提供两种版本：8741标准版和8741büs/CANopen版本
气体质量流量控制器（MFC）/
气体质量流量计（MFM）
技术参数
额定流量范围 (Q额定)) 10 mlN/min 至 160 l
N/min (N2)
可调比 50:1，可选 100:1
工作介质 中性，未受到污染的气体， 
根据要求可以使用其他介质
校准介质 工作气体或空气
   大工作压力
（表压）
10 bar (145 psi)，对于 MFC，
   高工作压力取决于阀门有效通径
介质温度 -10 °C 至 +70 °C
（-10 °C 至 +60 °C ，氧气）
环境温度 -10 °C 至 +50 °C （根据要求可以适用于更高的温度）
测量精度 ± 0.8 % o.R. ± 0.3 % F.S.
（1分钟预热时间后）
重复精度 ± 0.1 % F.S.
调节时间 (MFC) /
响应时间 (MFM) (t95%)
<300 ms
材料
主体
外壳
密封垫
铝或不锈钢
PC（聚碳酸酯）
FKM 或 EPDM（取决于气体）
管道接口 NPT ?， G ?，压力街头和底板连接，
根据要求可以使用其他方式
执行机构 （比例阀）
阀门标称直径
kVS值
无电流关闭
0.05…8 mm
0.00006…1.1 m3/h
工作电压 24 V DC
电压公差 ±10%
斜波率 ±2%
功率消耗1) 1…3 W （作为 MFM），
   大3…12 W （作为 MFC，取决于比例阀型号）
1) 这些信息以典型的功率消耗为基准（在 23 °C 环境温度、额定流量和
30 分钟调节模式下）。依据 UL 61010-1 的信息可能不同（参见使用说明书）。
8741 型气体质量流量控制器 (MFC) /
流量计 (MFM) 提供两种版本：
8741 标准版：具有工业以太网或模拟量接
口， 适合广泛的应用场合。
8741 büS / CANopen版: 适用于集成在现
有 CANopen 网络中或与 ME43 型现场总
线网关组合可集成于现行所有标准的工业以
太网或现场总线中。第二种版本尤其针对具
有多个控制对象的应用情形而研发。
一个ME43现场总线网关   多可连接32台
MFC/MFM。ME43 型网关将基于 CANopen 的内部通信（burkert称为 büS：是具
有扩展功能的 CANopen）转换为工业以太
网和现场总线的行业标准。质量流量控制器/
流量计可以在BUS和CAN open通信之间任
意切换。
8741 型根据需要可以配置为 MFM 或
MFC。可以校准   多四种不同的气体。 热氏
MEMS传感器直接置于气流中，因此可以达
到非常快的响应时间。直动式比例阀作为调
控单元可以保证高灵敏度。集成的PI控制器
保证了MFC / MFM   的控制特性。8741
*设计非常适合在控制柜中应用。
技术参数
配置存储器
（包括在供货范围
内）
工业 ?SIM 卡用于轻松更换设备
防护等级 IP20
尺寸 参见图纸 5~8 页
总质量 约 500 g（铝主体）
安装位置 水平或竖直
发光二极管显示器 RGB-LED，依据 NAMUR NE107
电气接口 8741 标准型 8741 büS /CANopen
工业以太网 PROFINET，Ethernet/IP，
EtherCAT，Modbus-TCP
通过 2 个 RJ45 (Switch)1)
-
现场总线 - büS （基于 CAN 
的总线）/ CANopen
通过接线端，4 针
模拟
输入端阻抗
   大电流
（电压输出端）
   大Bürde
（电流输出端）
4…20 mA，0…20 mA，
0…10 V 或 0…5 V 通过
D-Sub92) 或接线端，6 针
>20 kΩ（电压），
<300 Ω（电流）
10 mA
600 Ω
-
1) 通过单独接线端供电
2) 在 D-Sub9 模拟规格中，提供附加的数字输入端以及继电器输出端
技术参数， 续
气体    小Q额定
[IN/min]
   大Q额定
[IN/min]
氩气 0,01 160
乙炔 0,01 65
氦气 0,01 1000
二氧化碳 0,02 80
空气 0,01 160
甲烷 0,01 160
丙烷 0,03 44
氧气 0,01 160
氮气 0,01 160
氢 0,01 1000
3) 所有值基于1.013 bara 
设备选择提示
为了在MFC中正确选择执行器的有效通径，不仅要知道所要求的   大
流量Qnom，还要知道该流量Qnom下MFC (p1, p2)前后的压力值。一
般情况下，这些压力与整套装置的总入口和出口压力不同，因为通常
在控制器前后都有额外的压损(管道、附加开关阀、喷嘴等)。请使用第
13页上的询价单直接注明MFC前后的压力。这些压力值也许是未知的
或无法获得的测量，但是可以通过考虑在Qnom流量下的近似压力降，
进行估算。此外，请提供   大进口压力p1 max，以确保执行机构在所
有运行状态下的密封紧闭功能。
请使用第 13 页上的表格提供有关设备设计的信息，并向我们寄送一份询价副本，包括有关应用的信息。
测量原理
实际流量由传感器检测。这是根据热学原理进行测量的，该原理的优点是提供了不
依赖于压力和温度的质量流量测量。
主通道中的层流元件产生一个必要的压差，使小部分流量进入旁路通道。旁路管道
内壁上装有带膜的硅芯片，用于测量流量。采用MEMS传感器技术，在这块膜上有
一个加热电阻和两个对称的温度传感器（分别位于上游和下游）。如使加热电阻保
持在一个恒定温度，则两个温度传感器的电压差即可用于测量旁路通道中旁路通道
内流过芯片的气体的质量流量。