小型扩散炉不能升温，主要与温控板及加触发板有关，应该从以下几个方面进行检查：
1、检查触发板上的触发指示灯亮不亮。如果不亮，说明没有触发信号。再检查控制 柜面板上的加热指示灯是否亮。如果亮，说明触发板与下位机机箱转接之间的连接信号线转接插头接触不好；如果不亮，说明系统温度参数没配置好或温控板有问题。  
2、如果扩散炉触发板上的触发指示灯亮，说明触发板上有触发信号，则应检查变压器输出 电压是否正常。如果正常，检查可控硅是否开路。 
3、检查炉体的炉丝是否烧断。