非接触式镜片中心厚度测量技术
时间:2022-02-22 阅读:963
非接触式镜片中心厚度测量技术
非接触式镜片中心厚度测量机“ CT-Gauge”。
自最初的模型以来已经过去了七年。在此期间,我们克服了许多问题,
对机械和软件进行了全面改进,进一步扩展了功能。
它已发展成为高性能测量机。
请检查演示中的能力。
我们期待着您的光临。非常感谢。
自最初的模型以来已经过去了七年。在此期间,我们克服了许多问题,
对机械和软件进行了全面改进,进一步扩展了功能。
它已发展成为高性能测量机。
请检查演示中的能力。
我们期待着您的光临。非常感谢。
1)设备概要(测量壁厚的原因)
目前,图像质量正在从4K向8K转变,光学系统的性能也越来越苛刻。在这样的技术背景下,除了表面形状和偏心精度之外,还规定了严格的中心厚度。
通常,当透镜壁厚偏离设计值时,球差会增大,尤其是在微透镜中,壁厚误差会导致球差扩大和焦点位置波动。然而,测量镜片的中心厚度是一个相当困难的测量目标,并且尚未建立测量方法。
通常,当透镜壁厚偏离设计值时,球差会增大,尤其是在微透镜中,壁厚误差会导致球差扩大和焦点位置波动。然而,测量镜片的中心厚度是一个相当困难的测量目标,并且尚未建立测量方法。
原因是测量点只有一个,很难清楚地识别位置。
另外,我想避免接触测量,如果可能的话,这可能会导致划痕。尤其是半导体曝光机的大口径镜头,
玻璃材质是有原因的,但要求光学性能最高,
壁厚公差严格。
测量的另一个原因是为了
响应在镜片加工过程中(特别是在初始阶段)测量壁厚的要求。如您所知,被称为难玻璃
材料的软玻璃材料,由于晶体取向的问题,具有被快速刮掉的特性。此外,材料成本
高,我们希望减少加工错误。此外,使用其他公司的测量光,通过样品正面和背面的
反射光测量壁厚的设备无法进行此测量。
* 由于测量粗糙表面时物体之间的距离会有轻微误差,
建议使用四边形位移计或在表面涂油。
另外,我想避免接触测量,如果可能的话,这可能会导致划痕。尤其是半导体曝光机的大口径镜头,
玻璃材质是有原因的,但要求光学性能最高,
壁厚公差严格。
测量的另一个原因是为了
响应在镜片加工过程中(特别是在初始阶段)测量壁厚的要求。如您所知,被称为难玻璃
材料的软玻璃材料,由于晶体取向的问题,具有被快速刮掉的特性。此外,材料成本
高,我们希望减少加工错误。此外,使用其他公司的测量光,通过样品正面和背面的
反射光测量壁厚的设备无法进行此测量。
* 由于测量粗糙表面时物体之间的距离会有轻微误差,
建议使用四边形位移计或在表面涂油。
为了解决这些问题,我们在7年前开发了非接触式镜片中心测厚机,
目前改进的CT-gauge具有以下性能。
◆ 产品配置(以下为标准配置规格)
1)高精度非接触式位移计单元(2个)
2)精密XY扫描平台
3)位移计驱动机构
4)位移计四轴调整单元(2套) )・ FIX 载物台规格)
5) 新开发的“内置陶瓷校准仪的单元(带有独立的倾斜调整机构)”
6) 通用样品夹持机构(最大 Φ10 至 100 )
7) 专用控制箱
8) 分析笔记本电脑
9) 安装了基于 3D 形貌和透镜顶点分析算法的定制软件
Hybird Peak Analysis System ( HyPAS )
10) 专用接线电缆
* 1 Φ10 或以下样品需要专用样品架(单独出售)
* 2 防震支架 是不是特别需要,但最好有一个工作环境温度恒定的空调房间。
目前改进的CT-gauge具有以下性能。
◆ 产品配置(以下为标准配置规格)
1)高精度非接触式位移计单元(2个)
2)精密XY扫描平台
3)位移计驱动机构
4)位移计四轴调整单元(2套) )・ FIX 载物台规格)
5) 新开发的“内置陶瓷校准仪的单元(带有独立的倾斜调整机构)”
6) 通用样品夹持机构(最大 Φ10 至 100 )
7) 专用控制箱
8) 分析笔记本电脑
9) 安装了基于 3D 形貌和透镜顶点分析算法的定制软件
Hybird Peak Analysis System ( HyPAS )
10) 专用接线电缆
* 1 Φ10 或以下样品需要专用样品架(单独出售)
* 2 防震支架 是不是特别需要,但最好有一个工作环境温度恒定的空调房间。