应用流传已久的魔镜(透光镜)原理，达成实时检测镜面平板基材表面状态的装置。受各地的矽晶圆厂所用。
非接触、非破坏性的检查，以及免维护的光学系统根据选配，可追加表面缺陷自动判定影像处理软体、自动化搬运装置、影像储存、影像列印等功能。