ballwave超微量水分计FalconTrace系列检测原理分析

超微量水分计「FalconTrace」，是使用球SAW传感器，定量性地测量工业用气体和天然气极微量包含的水分子的装置。

响应速度极快，可实时监测含水量变化，还可进行含水量和背景气体组成分析两项测定。可以将气体中的水分浓度准确地测量到1ppb（10亿分之一）水平。

球SAW传感器的测量原理

①帘子状电极（IDT；Inter Digital Transducer）产生弹性表面波。

②弹性表面波在球的赤道上旋转，对涂抹的感应膜的微小变化作出反应。

③由波纹状电极检测反应后的弹性表面波的信号变化。

④通过多次循环累计微小的变化，实现高灵敏度的传感。

案例分析和用途

1. 半导体制造装置制造商（主要是前工序）

2. 蓄电池制造商及其材料制造商制造工序

3. 工业煤气制造厂

响应速度极快，可以以秒为单位监测水分量的变化，在半导体和二次电池的制造过程中有助于产品的成品率和质量稳定。

不需要对每个背景气体进行再构成，在天然气等成分有变动的情况下也可以同时检测。另外，由于传感器材料是水晶球，所以具有耐腐蚀性，重量轻，便于携带也是一大优点。

相关产品介绍

FT-700WT

实现了“超”微量水分测量的系列最上位机种

测量露点-110℃到-20℃的宽范围

露点测量之外又加上，背景气体※的组成（相当于平均分子量）以%水平也检测

※背景气体：作为水分量测量对象的气体

从天然气到高纯度气体，用这一台覆盖

FT-400WT

中端机型可实时测量

在1秒以内测量露点-90℃的变化，也可以变更为适合实时控制系统的测量的装置内置型

FT-300WT

高速响应性保持原样，重视便携性的小型通用机型

在1秒以内测量露点-70℃的变化，也支持实时测量系统

重量为2kg，重量轻、小型，容易携带到对象区域

通过电池驱动，即使在没有商用电源的地方也可以使用