半导体制造设备用隔离式低浓度氧传感器TB-II.F介绍

Ecoazette TB-II.F系列是使用稳定氧化锆陶瓷作为检测部件的O2传感器。

TB-III F系列用于测量常温气体，测量范围广，使用范围广。

通过信号电缆与控制单元※连接使用。

产品特点

1. 清洁气体中从 ppmO2 水平到 100%O2 的宽范围

2. 氧化锆传感器层层保护，结构可抵抗HCL和SOX等腐蚀性气体的侵蚀。

3.不易受样品流速影响，可在0.2~5L/min的流速范围内测量

4.结构简单，易于维护

产品用途

1.半导体制造等惰性气体管线

2.N2回流炉

3. N2PSA

4.气氛炉

5. 船用IGS、IGG

6.蒸气