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非接触式膜厚测量系统FF8的特点

时间:2023-05-04      阅读:554

非接触式膜厚测量系统FF8的特点

特征

  1. 测量样品的反射率(干涉波形),并通过FFT(快速傅里叶变换)或其他方法分析薄膜厚度值。

  2. 除了薄膜厚度测量外,还可以测量薄膜和玻璃厚度以及折射率。 选项包括多层薄膜、曲线拟合、显微镜、映射测量、颜色测量和组分浓度分析。

  3. 测量数据可以保存为文件,以后重新分析。

  4. 由于还可以制造连续测量功能、横移机构和数据通信功能,因此也可以用作在线薄膜厚度测量。

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测量范围
(分辨率)
0.01微米~50微米(0.1纳米)
0.5微米~50微米(0.1纳米)
1微米~200微米(0.001微米)
4微米~800微米(0.001微米)









Si02薄膜的测量示例(薄膜厚度:500nm)


乙烯基的测量示例(厚度:11μm)
氧化铝膜的测量示例(膜厚:10μm)
印刷电路板抗蚀膜的测量示例



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