什么是超高真空测量单元3B-Gauge?
时间:2023-05-22 阅读:568
什么是超高真空测量单元3B-Gauge?
为了准确测量低于10-9 Pa(高真空)的压力,需要一种高性能的测量设备,可以测量比要测量的压力低几个数量级的压力。 迄今为止市场上的高真空测量装置的测量极限约为10-10Pa,因此有必要密切关注剩余电流值。 剩余电流值仅1~2%的变化就可能导致压力测量误差在10-9Pa范围内为±10%,在10-10Pa范围内±100%以上。
但是,很难知道大多数真空设备在压力读数中存在较大的误差。 此外,在测量极限附近有两种类型的误差:ESD(电子刺激解吸)和除气,当误差因测量元件灵敏度的变化而波动(软X射线效应)和误差因剩余电流波动而波动时。 一般来说,前者往往具有更大的影响,因此显示的压力比实际低-10%或-100%。 由于很难轻易产生超高真空,因此显示低真空度可能会由于不正确的报告或判断而导致问题,在某些情况下会导致巨大的损失。
作为此类问题的直接对策,可以通过充分利用电子技术来纠正剩余电流的校正。 然而,由于X射线限值、ESD离子、释气等需要广泛而详细的考虑,因此经常进行此类校正既耗时又不切实际。 此外,10-9 Pa 或更低的压力测量需要测量飞安 (fA) 范围内的极小电流,并且必须考虑电子方面的性能。
处理超高真空测量复杂问题的简单,有效的方法是使用具有足够低剩余电流的高性能测量设备,并且可以通过通用静电计或现有的真空计控制器进行充分测量。
为了应对这种情况,3B-Gauge是一款具有以下革命性性能的新产品,改善了过去30年来超高真空测量中仍然存在的问题。
3B仪表(由VacLab Inc.授权)
3B规格(弯曲皮带 - 光束)将离子束从皮带形状的圆柱形网格中取出,并在240°弯曲位置捕获它(右上)。
这是一种新型的测量装置,通过全面改进热阴极型电离真空计中存在的“软X射线”,电子冲击分离(ESD)和“除气”三个测量极限,可以测量高达3-10 Pa的压力。
电极嵌入由12.0%铍铜合金的超低释气真空结构制成的扁平法兰(ICF2)中,以实现低释气(左上图)。
这是一种新型的测量装置,通过全面改进热阴极型电离真空计中存在的“软X射线”,电子冲击分离(ESD)和“除气”三个测量极限,可以测量高达3-10 Pa的压力。
电极嵌入由12.0%铍铜合金的超低释气真空结构制成的扁平法兰(ICF2)中,以实现低释气(左上图)。