小型单晶圆狭缝涂布机CSC-200的特点

1.注射器方式支持低粘度~高粘度，薄膜~厚膜
【应用测试结果】
湿膜厚度 5μm~200μm
涂布液粘度 2cps~8000cps
2.分切模具的宽度为100mm，宽度为200mm，涂层宽度可通过垫片调节。
3.狭缝模具的平行度通过开口调节。

4.狭缝模具与基板之间的间隙以1μm的增量调整。
5.平台采用多孔真空吸附方法，兼容薄膜和金属箔。
6. CSC-100可以

安装在手套箱中[关于涂层测试]
・如果您来办公室，将免费进行第一次演示测试。
・第二次及以后的测试和样品制作将收费。
・也可进行现场测试。
・如果您愿意，请与我们联系。
【狭缝涂布机的技巧】
（1）根据涂布液的流量选择最佳的狭缝宽度和出料速度

（2）根据出料速度调整涂布速度（载物台移动速度）

（3） 根据薄膜厚度调整工件和模具之间的间隙并优化提前时间