高输出型芯片周边曝光用
时间：2024-04-08 阅读：303
| 初期紫外線強度 | 2000mw/cm2以上（在365nm，距掩模0.5mm的距离） |
| 强度分布的均匀性 | 10%以下（4x）5mm区域） |
| 紫外線発光源 | 紫外发光二极管 |
| 紫外線発光源寿命 | 20000小时（推定寿命驱动电流最大时）※紫外线强度为初期50%以上的点灯累计时间 |
| 照射ON/OFF功能 | UV-LED的ON/OFF控制（通过远程及手动控制点亮/熄灭） |
| 光量调整机能 | UV-LED的电流调整光量调整范围为20～100% |
| 外装材質 | 不锈钢 |
| 外形寸法 | 150毫米×200毫米×192毫米 |
光学设计，实现了7，000mw/cm2以上的高输出。适用于以往需要较长时间处理的厚膜抗蚀剂的处理。进一步可大幅缩短曝光处理时间，大大有助于芯片处理张数的增大。