日本yamada山田光学 高辉度卤素光源装置 YP-150I
是宏観観察用的照明設備，可検測各種缺陥如半導体晶片及液晶基板加工中最費人工的成形製品表面
的异物、刮痕、抛光不均、雾状、划伤等。这款设备通常北称为 表面检查灯 从广义上来说是检查表面缺陷瑕疵等情况灯具的都是表面检查灯。有的因为被用于不同材质表面检查不同的情况,而被冠以不同命名。

“YP-150I”是一种用于显微观察的照明装置，用于检测

　　最终成品表面上的各种缺陷，如异物、划痕、抛光不均匀、雾度、滑移等，是半导体加工过程中劳动强度的一种。晶圆和液晶板

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　　样品表面的照度可超过 400,000 Lx。

　　另外，由于采用卤素灯作为光源，色温高，

　　光照不均匀的情况很少，光照***稳定锐利。

　　姊妹机“YP-250I”也可用于 8 英寸。