光源作为 检查的主体用很大的作用 那表面检查灯 又是什么呢  表面检查灯，在大概范围上来说就是用于 检查表面缺陷瑕疵等情况灯具的都是表面检查灯。有的因为被用于不同材质表面检查不同的情况，而被取为不同名称型 比如 这款 
日本yamada山田光学 高辉度卤素光源装置 YP-150I 表面检查灯 

高亮度卤素光源设备

是宏観観察用的照明設備，可検測各種缺陥如半導体晶片及液晶基板加工中最費人工的成形製品表面
的异物、刮痕、抛光不均、雾状、划伤等。精密平面检测的理想选择！通过惊人的照明，可以检测小于 0.2 μm 的缺陷。

　　“YP-150I”是一种用于显微观察的照明装置，用于检测

　　最终成品表面上的各种缺陷，如异物、划痕、抛光不均匀、雾度、滑移等，是半导体加工过程中劳动强度的一种。晶圆和液晶板