SUNX晶圆定位传感器M-DW1,神视定位传感器基本信息

规格
种类    LED式反射型
型号    M-DW1
测量距离    45mm
检测物体    3英寸以上的半导体晶圆(注2)
可对应检测面    有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3)
检测角度    12.5±5°(注4)
晶圆间距    间距3mm以上时，可按通常灵敏度进行分离检测(注5)
适用晶圆盒    SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒
电源电压    12〜24V DC±10% 脉动P-P10%以下
消耗电流    65mA以下
输出    NPN输出／PNP输出 可由切换开关选择
<NPN输出>
NPN开路集电晶体管
・zui大流入电流：100mA 
・外加电压：30V DC以下(输出和0V之间)
・剩余电压：1V以下(流入电流为100mA时) 0.4V以下(流入电流为16mA时)
<PNP输出>
PNP开路集电晶体管
・zui大源电流：100mA
・外加电压：30V DC以下(输出和+V之间)
・剩余电压：1V以下(源电流为100mA时)
0.4V以下(源电流为16mA时)
    输出动作    可用切换开关选择入光时ON/非入光时ON
短路保护    装备(自动复位)
反应时间    500μs以下

SUNX晶圆定位传感器M-DW1,神视定位传感器基本信息
工作状态指示灯    橙色LED(输出ON时亮起)
稳定指示灯    绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯)
定时器功能    装备约2ms固定断开延迟定时器 /无效切换式
投光停止输入    信号条件
・投光停止：断开或4〜8V
・投光：0〜3V或9V〜+V(26.4V MAX.)
灵敏度切换输入    信号条件
・输入OFF：断开或4〜8V
・输入ON ：0〜3V或9V〜+V(26.4V MAX.)
灵敏度设定    背面教导：按本体灵敏度设定按钮运行
检测灵敏度切换：本体开关2bit、4或外部输入的2选择式
   保护构造    IP20(IEC)
使用环境温度    0〜＋55℃(注意不可结露)、存储时：−10〜＋70℃
使用环境湿度    35〜85%RH、存储时： 35〜85%RH
使用环境照明度    白炽灯：受光面照明度3,000lx以下、荧光灯：受光面照明度1,500lx以下
耐电压    AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间
缘电阻    所有电源连接端子与外壳之间，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表
耐振动    频率10〜500Hz 双振幅3mm X,Y和Z方向各2小时
耐冲击    耐久98m/s2(约10G) XYZ方向各5回
投光元件    LED(调制式)
材质    外壳：ABS及SUS301、透镜： 丙烯
电缆    0.15mm2 5芯橡皮电缆，长300mm
电缆延长    0.15mm2 以上的电缆全长可延长10m
重量    本体重量：约75g
(注1)：无的测量条件为使用环境温度＝+20℃。
(注2)：检测8英寸以下的晶圆时，可能会因晶圆间距、定位边或表面的状态等而影响检测。
(注3)：对于经研磨后厚度变薄的晶圆，如果其端面呈刀刃状，可能会因光线不能从检测面向受光方向反射而难以检测。
(注4)：晶圆旋转时，定位边的zui大跳动角度约为±20°。
(注5)：斜向插入8英寸晶圆时的附近的间距。检测带定位边的晶圆时，对于避开定位边的检测位置，晶圆间距变得更窄，检测信号无法分解，变为连续的宽幅信号。